| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| ·微波等离子体 | 第11-14页 |
| ·等离子体概述 | 第11-12页 |
| ·微波等离子体 | 第12页 |
| ·微波等离子体的应用 | 第12-14页 |
| ·微波等离子体诊断方法 | 第14-20页 |
| ·探针法 | 第14-16页 |
| ·光谱法 | 第16-19页 |
| ·质谱法 | 第19-20页 |
| ·金刚石薄膜的性质及制备方法 | 第20-22页 |
| ·CVD 金刚石膜的性质及应用 | 第20-21页 |
| ·金刚石薄膜制备方法 | 第21-22页 |
| ·掺氮 CVD 金刚石的发射光谱研究现状 | 第22-24页 |
| ·掺氮 CVD 金刚石 | 第22-23页 |
| ·掺氮金刚石的发射光谱研究 | 第23-24页 |
| ·本工作的目的和意义 | 第24-27页 |
| 第2章 实验装置与实验方法 | 第27-31页 |
| ·高气压微波等离子体发射光谱诊断实验装置 | 第27-29页 |
| ·高气压微波等离子体发射光谱诊断实验方法 | 第29-31页 |
| ·CH_4/H_2等离子体发射光谱的研究 | 第29页 |
| ·CH_4/H_2/N_2等离子体发射光谱的研究 | 第29-31页 |
| 第3章 CH_4/H_2等离子体发射光谱的研究 | 第31-45页 |
| ·不同甲烷浓度的等离子体发射光谱研究 | 第31-37页 |
| ·发射光谱分析 | 第31-33页 |
| ·甲烷浓度对特征谱线强度的影响 | 第33-35页 |
| ·甲烷浓度对基团空间分布的影响 | 第35-37页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜沉积的影响 | 第37-39页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·金刚石薄膜不同位置的拉曼光谱分析 | 第38-39页 |
| ·不同气压的等离子体的发射光谱研究 | 第39-44页 |
| ·气压对特征谱线强度的影响 | 第39-41页 |
| ·气压对基团空间分布的影响 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 CH_4/H_2/N_2等离子体发射光谱的研究 | 第45-57页 |
| ·不同氮气浓度的等离子体发射光谱研究 | 第45-50页 |
| ·发射光谱分析 | 第45-47页 |
| ·氮气浓度对特征谱线强度的影响 | 第47-50页 |
| ·不同甲烷浓度的等离子体发射光谱研究 | 第50-53页 |
| ·甲烷浓度对特征谱线强度的影响 | 第50-52页 |
| ·甲烷浓度对电子温度的影响 | 第52-53页 |
| ·加氮对金刚石薄膜拉曼光谱的影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 论文总结与展望 | 第57-61页 |
| ·论文总结 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-61页 |
| 参考文献 | 第61-69页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |