新型薄膜晶体管的工艺研究--TIPS-pentacene薄膜晶体管的制备和工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外研究状况 | 第7-9页 |
| ·国外研究状况 | 第7-8页 |
| ·国内研究状况 | 第8-9页 |
| ·OTFT 器件的应用与发展趋势 | 第9-11页 |
| ·有机薄膜晶体管中存在的问题 | 第11页 |
| ·论文的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 OTFT 的介绍与相关理论 | 第13-25页 |
| ·有机半导体材料相关理论 | 第13-16页 |
| ·分子轨道理论 | 第13-14页 |
| ·能带理论 | 第14-15页 |
| ·载流子的传输理论 | 第15-16页 |
| ·OTFT 的结构及工作原理 | 第16-19页 |
| ·OTFT 的材料 | 第19-23页 |
| ·有源层材料 | 第19-21页 |
| ·绝缘层材料 | 第21-23页 |
| ·电极材料 | 第23页 |
| ·OTFT 的工艺 | 第23-25页 |
| 第三章 OTFT 的制备与工艺分析 | 第25-39页 |
| ·材料的选择 | 第25-26页 |
| ·OTFT 的制备工艺与所用仪器 | 第26-29页 |
| ·旋涂法成膜技术 | 第26-27页 |
| ·喷墨印刷技术 | 第27-29页 |
| ·制备与测试所用的材料和仪器 | 第29页 |
| ·影响 OTFT 性能的因素 | 第29-30页 |
| ·OTFT 器件的制备与有源层工艺分析 | 第30-38页 |
| ·浓度的影响 | 第31-32页 |
| ·器件结构的影响 | 第32-34页 |
| ·粘合剂的影响 | 第34页 |
| ·退火条件的影响 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 OTFT 的电学参数与评价 | 第39-45页 |
| ·电学特性曲线 | 第39-40页 |
| ·阈值电压 | 第40-41页 |
| ·场效应迁移率 | 第41-42页 |
| ·开关电流比 | 第42页 |
| ·结果分析 | 第42-45页 |
| 第五章 结论与展望 | 第45-47页 |
| ·结论 | 第45页 |
| ·展望 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第51页 |
