微流控芯片系统中传感器件的制备与集成
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·微流控芯片的发展 | 第11-14页 |
| ·飞秒激光精细微纳加工技术优势 | 第14-16页 |
| ·本文的研究意义及设计思路 | 第16-18页 |
| 第二章 微传感器的制备 | 第18-34页 |
| ·微流控芯片的制备 | 第18-20页 |
| ·试验参数及结果 | 第20-22页 |
| ·光刻胶参数 | 第20页 |
| ·去金去铬参数 | 第20页 |
| ·退火参数 | 第20-21页 |
| ·腐蚀参数及结果 | 第21-22页 |
| ·SnO_2感光凝胶的制备 | 第22-23页 |
| ·SnO_2溶胶的配置方法 | 第22-23页 |
| ·溶胶的感光性 | 第23页 |
| ·飞秒激光加工系统的搭建 | 第23-26页 |
| ·飞秒加工硬件系统的设计 | 第23-25页 |
| ·飞秒激光软件系统 | 第25-26页 |
| ·飞秒加工参数的优化与分析 | 第26-30页 |
| ·煅烧条件的优化与分析 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微传感器的性能测试 | 第34-37页 |
| ·湿度的定义及制备 | 第34-35页 |
| ·绝对湿度（ AH ） | 第34页 |
| ·相对湿度（ RH ） | 第34-35页 |
| ·露点 | 第35页 |
| ·湿度的制备 | 第35-36页 |
| ·微传感器性能测试 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 检测系统的设计 | 第37-47页 |
| ·检测电路的设计思想 | 第37页 |
| ·恒流源电路 | 第37-38页 |
| ·仪表放大器 AD | 第38-42页 |
| ·发展特点 | 第38-39页 |
| ·工作原理 | 第39-41页 |
| ·AD623 接线方式 | 第41-42页 |
| ·A/D 转换 | 第42-44页 |
| ·显示驱动电路 | 第44-45页 |
| ·系统的软件设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论与展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 作者简介及科研成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
