| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第9页 |
| ·ZnO基薄膜 | 第9-19页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第11页 |
| ·ZnO的掺杂 | 第11-15页 |
| ·ZnO基薄膜制备方法 | 第15-19页 |
| ·ZnO基薄膜应用 | 第19页 |
| ·本论文选题依据和主要研究内容 | 第19-21页 |
| 2 AZO和GZO薄膜的溶胶-凝胶法制备过程及表征手段 | 第21-29页 |
| ·实验仪器与药品 | 第22-23页 |
| ·溶胶的配制过程 | 第23-24页 |
| ·溶胶制备和陈化 | 第23页 |
| ·溶胶形成过程中的化学反应机理 | 第23-24页 |
| ·AZO和GZO薄膜的溶胶-凝胶法制备过程 | 第24-25页 |
| ·清洗基片 | 第24页 |
| ·旋转涂膜 | 第24-25页 |
| ·薄膜烘干处理 | 第25页 |
| ·薄膜结晶化处理 | 第25-26页 |
| ·薄膜真空退火处理 | 第26页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第26-28页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第26页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第26-27页 |
| ·表面轮廓仪 | 第27页 |
| ·四探针测量仪 | 第27-28页 |
| ·分光光度计 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜工艺参数优化 | 第29-34页 |
| ·溶胶浓度对AZO薄膜电学性能的影响 | 第29-30页 |
| ·掺杂浓度对AZO薄膜光电学性能的影响 | 第30-31页 |
| ·不同热处理氛围对AZO薄膜电学性能的影响 | 第31-32页 |
| ·真空中热处理温度对AZO薄膜电学性能的影响 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 AZO和GZO薄膜空气中热稳定性的对比研究 | 第34-44页 |
| ·实验过程 | 第34页 |
| ·实验结果 | 第34-41页 |
| ·AZO和GZO薄膜的组织结构 | 第34-38页 |
| ·AZO和GZO薄膜的表面形貌 | 第38页 |
| ·AZO和GZO薄膜的电学性质 | 第38-40页 |
| ·AZO和GZO薄膜的光学性质 | 第40-41页 |
| ·讨论 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 5 AZO和GZO薄膜在氮气和真空氛围中热稳定性对比研究 | 第44-52页 |
| ·实验过程 | 第44页 |
| ·实验结果 | 第44-50页 |
| ·AZO和GZO薄膜的组织结构 | 第44-46页 |
| ·AZO和GZO薄膜的表面形貌 | 第46-48页 |
| ·AZO和GZO薄膜的电学性质 | 第48-49页 |
| ·AZO和GZO薄膜的光学性质 | 第49-50页 |
| ·讨论 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |