| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·太阳能电池概述 | 第8-12页 |
| ·光伏产业的发展 | 第8-9页 |
| ·光伏电池的分类 | 第9-11页 |
| ·影响太阳能电池效率的因素 | 第11-12页 |
| ·本文研究背景 | 第12-17页 |
| ·叠层太阳能电池 | 第12-13页 |
| ·全硅叠层太阳能电池(“all-Si"tandem solar cell) | 第13-14页 |
| ·Si纳米结构材料的量子限制效应 | 第14-16页 |
| ·SiC基Si纳米晶材料及其研究进展 | 第16-17页 |
| ·选题及意义 | 第17-19页 |
| 2 热丝CVD | 第19-24页 |
| ·热丝CVD的发展 | 第19页 |
| ·热丝CVD的反应原理 | 第19-22页 |
| ·热丝CVD沉积系统 | 第22-24页 |
| 3 SiC基硅纳米晶薄膜表征方法 | 第24-29页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第24页 |
| ·Raman散射光谱 | 第24-25页 |
| ·傅里叶红外吸收谱(FTIR) | 第25页 |
| ·透射光谱 | 第25-27页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第27页 |
| ·霍尔效应测试 | 第27-29页 |
| 4 热丝CVD法制备SiC基硅纳米晶的研究 | 第29-48页 |
| ·实验 | 第29-30页 |
| ·实验步骤 | 第29页 |
| ·实验工艺参数 | 第29-30页 |
| ·实验结果 | 第30-45页 |
| ·薄膜结构 | 第30-34页 |
| ·薄膜价键构型 | 第34-35页 |
| ·表面形貌 | 第35-38页 |
| ·光学带隙 | 第38-41页 |
| ·折射率 | 第41页 |
| ·生长速率 | 第41-43页 |
| ·掺杂特性 | 第43-45页 |
| ·分析与讨论 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |