曲表面光刻胶涂覆技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
第一章 绪论	第7-13页
·常用的涂胶方法	第7-11页
·离心涂胶法	第7-9页
·滚动涂胶法	第9页
·提拉涂胶法	第9-10页
·喷雾涂胶法	第10-11页
·论文的主要研究内容	第11-13页
第二章 超声波凸球面涂胶的理论分析	第13-33页
·雾化原理及方法	第13-18页
·雾化原理及其影响因素	第13-14页
·常用的雾化方法	第14-18页
·超声波雾化喷涂研究	第18-27页
·喷嘴出口出射的速率	第18-19页
·液滴撞击基底表面的过程	第19-22页
·液滴与基底碰撞后形状的控制	第22-23页
·液滴与基底表面的碰撞速度	第23-24页
·喷雾液滴到基底所需时间	第24页
·喷嘴移动速度与液滴到基底所需时间的关系	第24-27页
·超声波凸面涂胶的数学模型	第27-33页
·基底角速度的控制	第27-29页
·超声波喷涂凸球面膜厚的数学分析	第29-33页
第三章 超声波凸球面涂胶系统的设计	第33-39页
·超声波凸球面涂胶系统	第33-34页
·超声波雾化装置关键器件的选择	第34-39页
·超声波喷嘴	第34-35页
·微量注射泵	第35-36页
·工件转台	第36-37页
·步进电机	第37-39页
第四章 超声波雾化喷涂实验及分析	第39-47页
·基底的清洗	第39页
·超声波喷雾法所用光刻胶	第39-41页
·超声波雾化喷涂实验	第41页
·凸球面基底上光刻胶膜厚的检测方法	第41-44页
·超声波曲面涂布光刻胶影响因素分析	第44-47页
·喷射量对于光刻胶膜厚的影响	第44-45页
·喷嘴的停留时间对于光刻胶膜厚的影响	第45页
·光刻胶的固体含量对光刻胶膜厚的影响	第45-47页
结论	第47-48页
致谢	第48-49页
参考文献	第49-50页