直线式时栅位移传感器实验方法与精度研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·本课题的来源、目的和意义 | 第9-10页 |
| ·位移传感器研究的国内外现状 | 第10-11页 |
| ·位移传感器技术的发展 | 第11-14页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14-17页 |
| 2 常用直线栅式位移传感器原理分析 | 第17-29页 |
| ·感应同步器 | 第17-20页 |
| ·感应同步器的鉴幅工作方式 | 第18-19页 |
| ·感应同步器的鉴相工作方式 | 第19-20页 |
| ·光栅式位移传感器测量原理 | 第20-25页 |
| ·光栅位移传感器中的莫尔条纹 | 第20-23页 |
| ·光栅的非调制工作方式 | 第23-24页 |
| ·光栅的相位调制工作方式 | 第24-25页 |
| ·时栅位移传感器的原理 | 第25-29页 |
| 3 直线式时栅位移传感器设计 | 第29-39页 |
| ·直线式时栅位移传感器原理 | 第29-32页 |
| ·直线电机的基本工作原理 | 第29-30页 |
| ·直线式时栅位移工作原理 | 第30-32页 |
| ·直线时栅位移传感器的结构设计 | 第32-34页 |
| ·双排滚针结构 | 第32-33页 |
| ·机械开槽式结构 | 第33-34页 |
| ·温度误差与阿贝误差 | 第34-39页 |
| ·温度影响的分析与处理 | 第35-36页 |
| ·阿贝误差的分析与处理 | 第36-39页 |
| 4 动态测量误差分离与实时修正 | 第39-51页 |
| ·误差分离与修正技术的内容与分类 | 第39-40页 |
| ·误差分离与修正技术的内容 | 第39页 |
| ·误差修正方法的分类 | 第39-40页 |
| ·传感器非线性自修正技术 | 第40-45页 |
| ·查表法 | 第40-43页 |
| ·曲线拟合法 | 第43-45页 |
| ·动态测量数据预处理 | 第45-47页 |
| ·数据截断和采样 | 第45-46页 |
| ·异常数据剔除 | 第46-47页 |
| ·动态误差分离与实时修正 | 第47-48页 |
| ·动态测量误差分离技术 | 第47页 |
| ·实时误差综合修正原理 | 第47-48页 |
| ·逐点误差修正 | 第48-51页 |
| 5 试验研究及精度分析 | 第51-67页 |
| ·试验测量系统设计 | 第51-52页 |
| ·定位控制系统实验 | 第52-56页 |
| ·高精度定位系统的硬件设计 | 第52-54页 |
| ·高精度自动定位控制系统软件设计 | 第54-56页 |
| ·直线式时栅位移传感器的静态试验 | 第56-60页 |
| ·直线式时栅位移传感器与直线光栅的静态对比试验 | 第57-58页 |
| ·直线式时栅与激光干涉仪的静态对比试验 | 第58-60页 |
| ·直线式时栅位移传感器的动态试验 | 第60-61页 |
| ·精度分析 | 第61-67页 |
| ·静态测量的精度分析 | 第61-62页 |
| ·动态测量的精度分析 | 第62-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
