| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-28页 |
| ·微加速度计研究现状 | 第10-13页 |
| ·压阻式微加速度计 | 第11页 |
| ·电容式微加速度计 | 第11-12页 |
| ·扭摆式微加速度计 | 第12-13页 |
| ·静电悬浮加速度计国内外研究现状 | 第13-20页 |
| ·国外研究现状 | 第14-19页 |
| ·国内研究现状 | 第19-20页 |
| ·静电悬浮检测技术和控制方案的研究 | 第20-25页 |
| ·电容检测技术 | 第21-23页 |
| ·悬浮控制系统研究进展 | 第23-25页 |
| ·本课题研究意义和主要内容 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第二章 静电悬浮加速度计的结构及工作原理 | 第28-41页 |
| ·静电悬浮加速度计的结构 | 第28-32页 |
| ·加速度计的整体结构 | 第28-29页 |
| ·悬浮电极配置方案 | 第29-32页 |
| ·静电悬浮加速度计的工作原理 | 第32-35页 |
| ·电容分析 | 第33-34页 |
| ·静电力分析 | 第34-35页 |
| ·阻尼理论 | 第35-39页 |
| ·空气阻尼的理论计算与分析 | 第36-39页 |
| ·阻尼系数影响因素分析 | 第39页 |
| ·性能指标 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 六轴静电悬浮控制器设计与仿真 | 第41-60页 |
| ·悬浮控制器的数学模型 | 第41-44页 |
| ·模糊-PID 控制器 | 第44-50页 |
| ·PID 控制器设计 | 第44-47页 |
| ·模糊控制器 | 第47-50页 |
| ·悬浮控制系统的设计与仿真 | 第50-56页 |
| ·沿Z 轴轴向平动控制器 | 第50-53页 |
| ·X（Y）向平动控制器 | 第53-54页 |
| ·绕X（Y）轴转动控制器 | 第54-55页 |
| ·绕Z 轴转动控制器 | 第55-56页 |
| ·集中控制策略与非集中控制策略 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 基于DSP 的六轴加速度计测控系统设计与实现 | 第60-82页 |
| ·基于DSP 的测控系统组成 | 第60-61页 |
| ·静电悬浮控制外围电路 | 第61-65页 |
| ·差分电容检测 | 第61-62页 |
| ·二次交流放大电路 | 第62页 |
| ·带通和低通滤波器 | 第62-64页 |
| ·相位调节和相敏解调电路 | 第64-65页 |
| ·基于TSM32028335 系列DSP 芯片的控制系统 | 第65-76页 |
| ·TMS320F28335 DSP 系统概述 | 第65-66页 |
| ·DSP 芯片及开发板硬件组成 | 第66-68页 |
| ·A/D 转换 | 第68-72页 |
| ·D/A 转换 | 第72-76页 |
| ·控制系统软件组成 | 第76-81页 |
| ·初始化和中断 | 第77-78页 |
| ·AD 采样 | 第78-80页 |
| ·模糊-控制PID 的实现 | 第80页 |
| ·D/A 转换 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第五章 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·全文研究总结 | 第82-83页 |
| ·研究展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第88-90页 |