| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 射频放电的应用 | 第7-14页 |
| ·激光器放电激励技术 | 第7-9页 |
| ·氧气放电 | 第9-10页 |
| ·射频放电及其优点 | 第10-13页 |
| ·本课题的目的、意义和研究内容 | 第13-14页 |
| 2 激光器射频电源与负载的匹配 | 第14-30页 |
| ·激光器射频电源的设计 | 第14-22页 |
| ·激光器的负载阻抗 | 第22-25页 |
| ·阻抗匹配选择与计算 | 第25-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 3 平板射频放电特性理论分析与计算 | 第30-41页 |
| ·容性射频放电的基本特性 | 第30-32页 |
| ·平板α型射频放电的理论模型 | 第32-37页 |
| ·平板射频放电的数值计算及讨论 | 第37-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 4 氧原子放电光谱分析 | 第41-50页 |
| ·氧原子与分子的谱线和能级 | 第41-44页 |
| ·光谱分析与计算 | 第44-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 5 全文总结 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第56页 |