新型集成方式RF MEMS开关

第一章 绪论	第1-20页
·微机电系统(MEMS)及 RF MEMS	第8-10页
·RF MEMS开关及研究现状	第10-14页
·MEMS集成问题	第14-17页
·集成带来的优势	第15页
·为什么要集成 MEMS	第15-16页
·集成并不总是最佳选择	第16-17页
·未来发展趋势	第17页
·本论文研究意义及内容	第17-20页
第二章 RF MEMS开关设计理论	第20-34页
·RF MEMS开关结构设计考虑因素	第20-24页
·RF MEMS开关的微波结构设计与分析	第24-34页
·射频材料的选择	第24-27页
·共面波导(CPW)设计	第27-34页
第三章 RF MEMS开关加工工艺	第34-44页
·微机械加工工艺概述	第34-35页
·微键合技术	第35-41页
·晶圆键合	第36-38页
·晶圆薄化	第38-39页
·晶圆转移	第39-41页
·集成 MEMS工艺	第41-44页
第四章 电容型RF MEMS开关设计分析	第44-70页
·结构设计	第44-55页
·弹簧常数	第45-50页
·静态分析	第50-52页
·MEMS开关的动态行为	第52-55页
·有限元仿真	第55页
·电分析	第55-62页
·开关自驱动和功率处理能力	第62-64页
·自驱动分析	第62-63页
·功率处理能力	第63-64页
·上拉电极设计	第64-66页
·电磁仿真	第66-70页
第五章 RF MEMS开关的制造工艺	第70-74页
·CPWs的制造	第70-71页
·开关结构制造	第71-72页
·系统整合	第72-74页
第六章 结束语	第74-76页
参考文献	第76-79页
致谢	第79-80页
硕士研究生期间发表的研究成果	第80页