| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| ·MEMS简介 | 第9-10页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器简介 | 第10-12页 |
| ·MEMS加速度传感器及其检测电路的减噪意义 | 第12-13页 |
| ·静电自激驱动电路的意义 | 第13-14页 |
| ·论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声机理分析 | 第15-26页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器的原理 | 第15-16页 |
| ·检测电路原理 | 第16-17页 |
| ·前期加速度传感器及其检测电路原理 | 第17-21页 |
| ·方波发生电路 | 第17-18页 |
| ·双端输入单端输出的差分电容结构 | 第18-19页 |
| ·开关解调 | 第19-21页 |
| ·加速度传感器及其检测电路的噪声机理分析 | 第21-25页 |
| ·载波 | 第21-23页 |
| ·传感器噪声 | 第23页 |
| ·检测电路噪声 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 MEMS加速度传感器及其检测电路的减噪改进 | 第26-40页 |
| ·减噪改进的具体实现 | 第26-32页 |
| ·传感器的改进 | 第26页 |
| ·检测电路的改进 | 第26-31页 |
| ·封装的改进 | 第31-32页 |
| ·信号传输的改进 | 第32页 |
| ·改进前后结果的对比和分析 | 第32-34页 |
| ·滤波电路截止频率对噪声抑制的比较 | 第32-33页 |
| ·MEMS加速度传感器及其检测电路改进前后的综合效果对比 | 第33-34页 |
| ·测量改进后电路的每级模块噪声 | 第34-37页 |
| ·噪声测量方法 | 第35页 |
| ·每级噪声测量 | 第35-37页 |
| ·野外实验应用效果 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 谐振器的静电自激驱动电路设计和模拟 | 第40-60页 |
| ·静电驱动原理 | 第40-44页 |
| ·法向振动谐振器的静电驱动 | 第41-43页 |
| ·切向振动谐振器的静电驱动 | 第43-44页 |
| ·静电自激驱动电路设计 | 第44-54页 |
| ·驱动信号发生电路 | 第45-46页 |
| ·谐振器 | 第46-47页 |
| ·变化电容检测电路 | 第47页 |
| ·移相电路 | 第47-48页 |
| ·AGC自动增益控制电路 | 第48-52页 |
| ·环路信号分析 | 第52-54页 |
| ·静电自激驱动电路模拟 | 第54-59页 |
| ·驱动信号发生电路 | 第54-55页 |
| ·移相电路 | 第55-56页 |
| ·检波电路 | 第56-58页 |
| ·减法电路和电压匹配电路 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 谐振器的静电自激驱动电路测试 | 第60-73页 |
| ·静电自激驱动电路测试 | 第60-67页 |
| ·法向谐振器及其检测电路静态测试 | 第60页 |
| ·开环测法向谐振器Q值 | 第60-63页 |
| ·AGC电路测试 | 第63-64页 |
| ·移相电路测试 | 第64-65页 |
| ·闭环静电自激驱动测试结果 | 第65-67页 |
| ·静电自激驱动电路的可移植性测试 | 第67-71页 |
| ·开环测切向谐振器Q值 | 第68-69页 |
| ·移相电路测试及改变 | 第69页 |
| ·切向谐振器的闭环静电自激驱动测试结果 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第79页 |
| 个人简历 | 第79-80页 |
| 学位论文独创性声明 | 第80页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第80页 |
