| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| §1.1 引言 | 第7-9页 |
| §1.2 表面微观形貌测量技术 | 第9-14页 |
| §1.2.1 光学测量法 | 第10-11页 |
| §1.2.2 探针测量法 | 第11-12页 |
| §1.2.3 各种测量方法的比较 | 第12-14页 |
| §1.3 相移干涉术的研究现状和发展趋势 | 第14-15页 |
| §1.3.1 相位提取算法 | 第14页 |
| §1.3.2 相位解包裹算法 | 第14-15页 |
| §1.4 本课题的主要研究目标和内容 | 第15-16页 |
| §1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 相移干涉术的理论基础 | 第20-43页 |
| §2.1 常用干涉显微机构 | 第20-23页 |
| §2.1.1 双光路干涉显微镜 | 第20-22页 |
| §2.1.2 共光路干涉显微镜 | 第22-23页 |
| §2.2 位相测量方法综述 | 第23-26页 |
| §2.2.1 传统条纹中心法 | 第23-24页 |
| §2.2.2 外差法 | 第24页 |
| §2.2.3 相移法 | 第24-25页 |
| §2.2.4 变换法 | 第25-26页 |
| §2.3 相移干涉术的基本测量原理 | 第26-29页 |
| §2.3.1 步进式相移干涉术 | 第27-28页 |
| §2.3.2 连续式相移干涉术 | 第28-29页 |
| §2.4 相移技术 | 第29-35页 |
| §2.4.1 压电控制技术 | 第29-32页 |
| §2.4.2 步进电机控制技术 | 第32-35页 |
| §2.4.2.1 步进电机 | 第33-34页 |
| §2.4.2.2 步进电机驱动器 | 第34页 |
| §2.4.2.3 步进电机运动控制器 | 第34-35页 |
| §2.5 采样分析 | 第35-36页 |
| §2.6 表面形貌的获取 | 第36-38页 |
| §2.7 相移干涉术测量误差分析 | 第38-39页 |
| §2.8 本章小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-43页 |
| 第三章 相位提取技术及相位解包裹算法 | 第43-71页 |
| §3.1 引言 | 第43页 |
| §3.2 定步长相移算法 | 第43-46页 |
| §3.2.1 三步法 | 第43-44页 |
| §3.2.2 四步法 | 第44页 |
| §3.2.3 五步法 | 第44-45页 |
| §3.2.4 N帧算法 | 第45页 |
| §3.2.5 位相平均法 | 第45-46页 |
| §3.3 等步长相移算法 | 第46-48页 |
| §3.3.1 Carre算法 | 第46-47页 |
| §3.3.2 Stoilov算法 | 第47-48页 |
| §3.3.3 Schwider算法 | 第48页 |
| §3.4 非定步长相移算法 | 第48-55页 |
| §3.4.1 最小二乘法 | 第48-49页 |
| §3.4.2 Kong-Kim迭代算法 | 第49-51页 |
| §3.4.3 改进的最小二乘法 | 第51-53页 |
| §3.4.4 差分相移图法 | 第53-55页 |
| §3.5 各种算法的误差分析和性能比较 | 第55-60页 |
| §3.5.1 定步长算法 | 第55-58页 |
| §3.5.2 等步长算法 | 第58-59页 |
| §3.5.3 非定步长算法 | 第59-60页 |
| §3.6 相位解包裹算法 | 第60-66页 |
| §3.6.1 引言 | 第60-61页 |
| §3.6.2 Flynn最小断点算法 | 第61-66页 |
| §3.7 本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 第四章 实验结果及数据分析 | 第71-88页 |
| §4.1 步进电机控制系统 | 第71-73页 |
| §4.2 相移干涉术硬件实验平台 | 第73-76页 |
| §4.3 数据采集 | 第76-77页 |
| §4.4 数据分析 | 第77-87页 |
| §4.4.1 数据初步分析 | 第78页 |
| §4.4.2 数据进一步分析 | 第78-79页 |
| §4.4.2.1 相移图差分法计算相移量 | 第78-79页 |
| §4.4.2.2 改进的最小二乘法计算相移量 | 第79页 |
| §4.4.3 数据最终分析及比较 | 第79-87页 |
| §4.4.3.1 按照相移图差分法计算所得的相移量进行三维重建 | 第79-81页 |
| §4.4.3.2 按照改进的最小二乘法计算所得的相移量进行三维重建 | 第81-82页 |
| §4.4.3.3 各种算法重建的三维效果图及比较 | 第82-87页 |
| §4.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 第五章 总结与展望 | 第88-91页 |
| §5.1 本文所做的工作 | 第88-89页 |
| §5.2 需要改进的地方 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |