第一章 绪论 | 第1-13页 |
·机电一体化中的计算机控制系统 | 第6-9页 |
·MOCVD 技术概述 | 第9-11页 |
·主要研究工作和本文结构安排 | 第11-13页 |
第二章 控制系统需求分析与总体方案设计 | 第13-25页 |
·MOCVD 的工艺流程与系统构成 | 第13-16页 |
·控制系统的功能与性能要求 | 第16-18页 |
·控制系统选型分析 | 第18-22页 |
·MOCVD 计算机控制系统总体方案 | 第22-25页 |
第三章 控制系统硬件设计与实现 | 第25-36页 |
·控制系统硬件结构设计 | 第25-32页 |
·控制系统硬件抗干扰措施 | 第32-34页 |
·MOCVD 系统仿真实验平台设计 | 第34-36页 |
第四章 控制系统软件设计与实现 | 第36-51页 |
·控制系统软件设计分析 | 第36-39页 |
·控制系统软件详细设计与实现 | 第39-45页 |
·反应室温度控制程序设计 | 第45-49页 |
·控制系统软件抗干扰措施 | 第49-51页 |
第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
致谢 | 第53-54页 |
参考文献 | 第54-56页 |
作者在读期间研究成果 | 第56页 |