| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 主要变量列表及相关缩写说明 | 第8-12页 |
| 第1章 引言 | 第12-25页 |
| ·课题研究意义和背景 | 第12-13页 |
| ·课题研究意义 | 第12-13页 |
| ·课题研究背景 | 第13页 |
| ·精密运动平台发展现状 | 第13-17页 |
| ·精密运动平台控制相关文献综述 | 第17-24页 |
| ·精密运动平台建模 | 第17-18页 |
| ·精密运动平台相关运动控制 | 第18-21页 |
| ·精密运动平台振动与减振分析 | 第21-24页 |
| ·论文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 H-drive 精密平台建模与特性分析 | 第25-42页 |
| ·直线电机驱动H-drive 精密平台结构 | 第25-28页 |
| ·直线电机驱动结构建模和控制影响因素分析 | 第28-30页 |
| ·直线电机驱动H-drive 精密平台动力学建模 | 第30-33页 |
| ·直线电机驱动H-drive 精密平台模型特性分析 | 第33-41页 |
| ·输入输出特性分析 | 第33-36页 |
| ·不同质量比X 轴滑块位置变化对系统模型的影响 | 第36-38页 |
| ·平台质心位置和电机负载比的变化分析 | 第38-39页 |
| ·平台绕质心转动惯量的变化分析 | 第39-41页 |
| ·本章结论 | 第41-42页 |
| 第3章 H-drive 精密平台参数变化解耦控制研究 | 第42-56页 |
| ·解耦控制理论基础 | 第42-43页 |
| ·直线电机驱动H-drive 精密平台解耦控制 | 第43-50页 |
| ·解耦控制分析 | 第43-46页 |
| ·解耦控制的实现 | 第46-48页 |
| ·参数变化解耦控制的实现 | 第48-50页 |
| ·直线电机驱动H-drive 精密平台参数变化解耦控制仿真 | 第50-54页 |
| ·阶跃响应仿真 | 第50-51页 |
| ·扰动抑制仿真 | 第51-52页 |
| ·鲁棒性仿真分析 | 第52-54页 |
| ·本章结论 | 第54-56页 |
| 第4章 H-drive 精密平台运动控制器设计与仿真优化 | 第56-73页 |
| ·H-drive 精密平台性能指标与控制策略分析 | 第56-62页 |
| ·H-drive 精密平台性能指标分析 | 第56-59页 |
| ·H-drive 精密平台控制策略分析 | 第59-62页 |
| ·运动控制器设计 | 第62-68页 |
| ·超前-滞后反馈控制器设计 | 第62-66页 |
| ·加速度前馈控制器设计 | 第66-68页 |
| ·反馈前馈控制仿真研究 | 第68-72页 |
| ·阶跃响应仿真 | 第69-70页 |
| ·轨迹跟踪响应仿真 | 第70-71页 |
| ·反馈与前馈同步优化设计仿真 | 第71-72页 |
| ·本章结论 | 第72-73页 |
| 第5章 H-drive 精密平台运动控制实验研究 | 第73-90页 |
| ·单轴运动控制实验 | 第73-78页 |
| ·低通滤波器设计与实验 | 第73-75页 |
| ·超前-滞后反馈+加速度前馈+低通滤波控制实验 | 第75-78页 |
| ·H-drive 精密平台解耦控制与交叉耦合控制对比实验 | 第78-85页 |
| ·H-drive 精密平台综合运动控制实验 | 第85-88页 |
| ·本章结论 | 第88-90页 |
| 第6章 结论与展望 | 第90-93页 |
| ·结论 | 第90-91页 |
| ·展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第98页 |
