| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·微型机电系统 | 第10-11页 |
| ·静电微电机技术 | 第11-12页 |
| ·静电悬浮微电机与国内外研究现状 | 第12-20页 |
| ·日本东北大学与Tokemic 公司 | 第13-15页 |
| ·美国Santon 技术公司 | 第15-16页 |
| ·美国Ball Semiconductor 公司 | 第16-17页 |
| ·英国南安普敦大学 | 第17-18页 |
| ·清华大学与上海交通大学 | 第18-20页 |
| ·课题研究意义和内容 | 第20-21页 |
| ·论文结构安排 | 第21-22页 |
| 第2章 静电悬浮微电机结构设计与建模分析 | 第22-54页 |
| ·静电悬浮微电机系统结构 | 第22-32页 |
| ·静电悬浮微敏感结构 | 第22-23页 |
| ·微敏感结构整体设计与定子电极配置 | 第23-25页 |
| ·止挡结构 | 第25-26页 |
| ·牺牲层设计 | 第26页 |
| ·静电悬浮系统 | 第26-27页 |
| ·定子电极拆分 | 第27-28页 |
| ·电机微敏感结构定子电极拆分与加载电压分配 | 第28-32页 |
| ·电机微敏感结构间隙电容数学模型 | 第32-41页 |
| ·转子沿z 轴（轴向）平动间隙电容 | 第34-36页 |
| ·转子绕x、y 轴转动间隙电容 | 第36-38页 |
| ·转子沿x、y 轴平动间隙电容 | 第38-40页 |
| ·差动电容与转子位移之间关系的矩阵表达式 | 第40-41页 |
| ·静电力与静电力矩模型 | 第41-48页 |
| ·轴向静电力 | 第41-43页 |
| ·径向静电力 | 第43-45页 |
| ·绕x、y 轴转动静电力矩 | 第45-48页 |
| ·悬浮转子动力学模型 | 第48-50页 |
| ·“三对轴向电极”结构转子运动力学方程 | 第48-49页 |
| ·“四对轴向电极”结构转子运动力学方程 | 第49-50页 |
| ·静电悬浮支承系统的静态过载 | 第50-52页 |
| ·z 轴静态过载 | 第50-51页 |
| ·x、y 轴静态过载 | 第51-52页 |
| ·绕x、y 轴转动（θ、φ自由度）静态过载 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 差动电容式位移检测电路 | 第54-78页 |
| ·频分复用式电容检测电路方案 | 第54-59页 |
| ·电容式多自由度位移检测电路方案 | 第54页 |
| ·频分复用原理 | 第54-55页 |
| ·频分复用方法检测方案 | 第55-56页 |
| ·电路原理分析 | 第56-59页 |
| ·OrCAD 仿真测试电路 | 第59-66页 |
| ·前置电荷放大电路 | 第60-63页 |
| ·交流放大电路 | 第63-66页 |
| ·移相电路与相敏解调电路设计 | 第66-70页 |
| ·RC 移相电路 | 第67-68页 |
| ·相敏解调电路 | 第68-69页 |
| ·低通滤波电路 | 第69-70页 |
| ·电路调试与分析 | 第70-75页 |
| ·放大电路性能测试 | 第70-74页 |
| ·移相电路调试 | 第74-75页 |
| ·AD734 相敏解调电路调试 | 第75页 |
| ·实际电路检测灵敏度与零位稳定性 | 第75-77页 |
| ·检测灵敏度 | 第75-76页 |
| ·零位稳定性和固定电容值检测稳定性 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 直接数字合成（DDS）正弦信号发生器 | 第78-89页 |
| ·DDS 产生正弦信号原理 | 第78-80页 |
| ·直接数字合成功能芯片AD9834 | 第80-83页 |
| ·DSP 串行外设接口SPI | 第83-85页 |
| ·SPI 与AD9834 的串口连接 | 第85页 |
| ·DDS 信号发生程序 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 静电悬浮微电机控制系统 | 第89-99页 |
| ·悬浮支承系统控制对象 | 第89-90页 |
| ·悬浮支承系统的的支承刚度 | 第90页 |
| ·支承控制系统 | 第90-98页 |
| ·z 轴支承控制系统模型与校正 | 第91-94页 |
| ·绕x、y 轴转动（θ, φ自由度）控制模型与校正 | 第94-97页 |
| ·x、y 自由度控制模型与校正 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第6章 悬浮支承系统与实验分析 | 第99-109页 |
| ·静电悬浮支承系统组成 | 第99-102页 |
| ·电机微结构 | 第99-100页 |
| ·支承控制系统 | 第100-101页 |
| ·静电加力电路 | 第101-102页 |
| ·静电悬浮支承系统测试实验 | 第102-108页 |
| ·静电加力电路调试实验 | 第103-105页 |
| ·位移检测电路调试实验 | 第105-107页 |
| ·静电驱动实验 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 第7章 总结与展望 | 第109-113页 |
| ·论文工作总结 | 第109-111页 |
| ·对今后研究工作的建议与展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第117页 |