| Acknowledgements | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| CHAPTER 1 INTRODUCTION | 第9-17页 |
| ·Background and Significance | 第9-11页 |
| ·Summary of Linear Motor | 第11-13页 |
| ·Work Principle and Categories of Linear Motor | 第11-12页 |
| ·Characters and Using of Linear Motor | 第12-13页 |
| ·Linear Motor Control | 第13-16页 |
| ·Main Contents | 第16-17页 |
| CHAPTER 2 INTRODUCTION OF XY TABLE | 第17-23页 |
| ·Introduction of XY table | 第17-18页 |
| ·Actuator | 第18-19页 |
| ·Danaher SERVOSTAR Driver | 第19-21页 |
| ·Feedback Device | 第21-22页 |
| ·Motion Control System | 第22-23页 |
| CHAPTER 3 SYSTEM MODELING AND IDENTIFICATION OF XY TABLE | 第23-33页 |
| ·Introduction | 第23-25页 |
| ·The Method of System Identification | 第25-27页 |
| ·The Procedures of System Identification | 第25-27页 |
| ·The Experimental Designing of System Identification | 第27页 |
| ·Identification of Frequency Response | 第27-30页 |
| ·Frequency Response Getting | 第27-28页 |
| ·Transform the Frequency Response to Transfer Function | 第28-30页 |
| ·Experiment Steps and Results | 第30-32页 |
| ·Model Verifying | 第32页 |
| ·Conclusions | 第32-33页 |
| CHAPTER 4 CONTROLLER DESIGN OF XY TABLE | 第33-51页 |
| ·Basic Idea of H_∞ Control Theory | 第34-35页 |
| ·Steps of Designing a H_∞ Optimal Controller | 第35-44页 |
| ·Setting the Model of H_∞ Standard Designing Problem | 第36-39页 |
| ·Select Weighted Functions | 第39-44页 |
| ·Designing the Controller | 第44页 |
| ·Experiment Results | 第44-48页 |
| ·Simulation Results | 第44-45页 |
| ·Real Motion Results | 第45-48页 |
| ·Verify the Controller Performance | 第48-50页 |
| ·Conclusions | 第50-51页 |
| CHAPTER 5 CONCLUSIONS AND PROSPECTS | 第51-53页 |
| ·Main Conclusions | 第51-52页 |
| ·Prospects | 第52-53页 |
| REFERENCE | 第53-57页 |
