IC缺陷检测的直线电机高精度定位控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外在该方向的研究现状及分析 | 第9-10页 |
| ·直线电机概述 | 第10-12页 |
| ·直线电机原理及分析 | 第10-11页 |
| ·直线电机的优缺点 | 第11-12页 |
| ·直线电机控制 | 第12-14页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 高速IC缺陷检测平台的搭建 | 第16-25页 |
| ·高速IC缺陷检测平台介绍 | 第16页 |
| ·高加速X-Y定位平台介绍 | 第16-18页 |
| ·运动控制系统 | 第18-24页 |
| ·直线电机 | 第19-20页 |
| ·反馈装置 | 第20-21页 |
| ·运动控制卡 | 第21-22页 |
| ·驱动器 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 高速检测平台的系统建模与辨识研究 | 第25-36页 |
| ·系统建模 | 第25-27页 |
| ·系统辨识介绍 | 第27页 |
| ·系统辨识的方法与步骤 | 第27-33页 |
| ·辨识输入 | 第28-30页 |
| ·系统辨识的实验设计 | 第30页 |
| ·频率响应的辨识 | 第30页 |
| ·从频率响应转换为传递函数 | 第30-33页 |
| ·系统辨识的实验步骤与实验结果 | 第33-34页 |
| ·Bode图校验 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 IC缺陷检测平台的控制器设计与优化 | 第36-51页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·重复学习控制算法（ILC） | 第37-39页 |
| ·P-type ILC | 第37-38页 |
| ·D-type ILC | 第38页 |
| ·A-type ILC | 第38-39页 |
| ·控制系统的级联控制结构 | 第39-40页 |
| ·轨迹调整控制算法 | 第40-42页 |
| ·系统仿真与分析 | 第42-45页 |
| ·系统实验 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
