薄壁微结构研抛系统设计及工艺研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-15页
·课题背景	第9-10页
·课题来源及研究的意义	第10-11页
·国内外在该方向的研究现状及分析	第11-14页
·国内外微小型机床研究现状及分析	第11-13页
·国内外微细结构加工技术研究现状及分析	第13-14页
·课题主要研究内容	第14-15页
第2章 系统总体设计	第15-32页
·引言	第15页
·系统的设计及实现	第15-22页
·机械部分的设计及实现	第15-18页
·检测及控制部分的设计及实现	第18-22页
·具有微力感知功能夹具的设计	第22-25页
·宏微复合运动平台及其控制系统的设计	第25-31页
·宏微复合运动平台的设计	第25-27页
·宏微复合运动控制系统的设计	第27-31页
·本章小结	第31-32页
第3章 系统控制方案的设计	第32-47页
·引言	第32页
·控制程序的总体介绍	第32-34页
·对刀方案的设计	第34-44页
·对刀基础方案的规划	第34-36页
·对刀基础方案的设计	第36-41页
·自动对刀方案的设计	第41-44页
·研抛轨迹的生成	第44-46页
·本章小结	第46-47页
第4章 研抛工艺研究及研抛力分析	第47-60页
·引言	第47页
·研抛工艺研究	第47-53页
·研磨膏粒度选择	第47-49页
·研抛轮单次进给量	第49-51页
·工件被去除量的精确控制	第51-53页
·研抛结果检测及分析	第53-56页
·研抛力分析	第56-59页
·本章小结	第59-60页
结论	第60-61页
参考文献	第61-65页
致谢	第65页