| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 多孔硅的热传导概论 | 第10-12页 |
| 1.1.1 多孔硅的热传导 | 第10页 |
| 1.1.2 多孔硅的热扩散系数 | 第10-12页 |
| 1.2 多孔硅的热整流效应 | 第12-16页 |
| 1.2.1 热整流效应概论 | 第12-14页 |
| 1.2.2 多孔硅热整流的产生 | 第14-15页 |
| 1.2.3 热整流的研究现状与应用 | 第15-16页 |
| 1.3 选题依据以及研究内容 | 第16-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 多孔硅概论 | 第18-25页 |
| 2.1 多孔硅简介 | 第18-21页 |
| 2.1.1 多孔硅的历史与分类 | 第18-19页 |
| 2.1.2 多孔硅形成的理论模型 | 第19-21页 |
| 2.2 多孔硅的制备方法 | 第21-22页 |
| 2.2.1 化学腐蚀法 | 第21页 |
| 2.2.2 电化学腐蚀法 | 第21-22页 |
| 2.2.3 蒸汽腐蚀法和溅射腐蚀 | 第22页 |
| 2.2.4 原电池法 | 第22页 |
| 2.2.5 其它制备方法 | 第22页 |
| 2.3 多孔硅的特性与应用 | 第22-24页 |
| 2.3.1 多孔硅多孔性的应用 | 第23页 |
| 2.3.2 多孔硅低热导的应用 | 第23-24页 |
| 2.3.3 多孔硅热整流的应用 | 第24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 实验过程 | 第25-31页 |
| 3.1 单槽电化学腐蚀法制备多孔硅 | 第25-30页 |
| 3.1.1 实验步骤 | 第25-28页 |
| 3.1.2 多孔硅微观形貌观测 | 第28页 |
| 3.1.3 多孔硅热扩散系数测量 | 第28-29页 |
| 3.1.4 一种固体材料热扩散系数测量的创新装置和方法 | 第29-30页 |
| 3.2 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 多孔硅基本性质的研究 | 第31-42页 |
| 4.1 多孔硅微观形貌分析 | 第31-38页 |
| 4.1.1 不同腐蚀电流密度下多孔硅表面形貌分析 | 第31-35页 |
| 4.1.2 不同腐蚀电流密度下多孔硅断面结构分析 | 第35-38页 |
| 4.2 多孔硅孔隙率的研究 | 第38-41页 |
| 4.2.1 孔隙率的测量原理 | 第38-40页 |
| 4.2.2 腐蚀电流密度对孔隙率的影响 | 第40-41页 |
| 4.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 闪光法测量多孔硅热扩散系数 | 第42-59页 |
| 5.1 LFA457测量多孔硅热扩散系数 | 第42-50页 |
| 5.1.1 LFA457测量热扩散系数的原理 | 第42-43页 |
| 5.1.2 LFA457测量多孔硅热扩散系数的计算模型 | 第43-44页 |
| 5.1.3 实验中问题曲线修正 | 第44-46页 |
| 5.1.4 LFA457热扩散系数测量步骤 | 第46-50页 |
| 5.2 实验结果及分析 | 第50-58页 |
| 5.2.1 热扩散系数分析 | 第50-54页 |
| 5.2.2 热整流系数分析 | 第54-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论 | 第59-62页 |
| 6.1 全文结论 | 第59-60页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第60-61页 |
| 6.3 局限和展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 硕士期间研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |