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基于硅异质结构的光控存储、逻辑和类突触器件的研究

摘要第5-8页
Abstract第8-11页
第一章 绪论第16-56页
    1.1 阻变存储器件第16-23页
        1.1.1 阻变存储器件概述第16-17页
        1.1.2 阻变现象的描述和器件材料选择第17-18页
        1.1.3 二元金属氧化物基阻变器件的阻变机制第18-21页
        1.1.4 二元金属氧化物基阻变器件导电机制第21-23页
    1.2 阻变器件的应用第23-27页
        1.2.1 阻变式随机存储器第23页
        1.2.2 逻辑运算第23-25页
        1.2.3 神经突触可塑性仿生模拟第25-27页
    1.3 电荷俘获存储器件第27-29页
    1.4 视网膜的基本结构第29-30页
    1.5 光控存储器件第30-37页
        1.5.1 光控阻变存储器件的分类第30-36页
        1.5.2 光控电荷存储器件的概述第36-37页
    1.6 光控存储器件的机遇和挑战第37-41页
    参考文献第41-56页
第二章 仿视网膜结构的光控阻变器件的制备第56-70页
    2.1 仿视网膜器件结构单元的制备第56-60页
    2.2 器件制备工艺第60-66页
        2.2.1 聚焦离子束(Focused ion beam,FIB)第60-61页
        2.2.2 无掩膜紫外光刻技术第61-63页
        2.2.3 原子层沉积系统第63-65页
        2.2.4 磁控溅射系统第65-66页
    2.3 器件光电性能测试平台介绍第66-67页
    2.4 本章小结第67-68页
    参考文献第68-70页
第三章 光控阻变器件及其性能研究第70-88页
    3.1 p-Si/HfO_2/Pt光控阻变器件及其性能表征第70-74页
        3.1.1 p-Si/HfO_2/Pt光控阻变效应第70-72页
        3.1.2 p-Si/HfO_2/Pt光控阻变器件的开关速度第72-73页
        3.1.3 p-Si/HfO_2/Pt光控阻变器件的疲劳、保持和一致性第73-74页
    3.2 p-Si/HfO_2/Pt器件的光控阻变机制探索第74-78页
    3.3 p-Si/HfO_2/Pt光控阻变器件导电机制的研究第78-79页
    3.4 光控阻变性能影响因素第79-83页
        3.4.1 ALD生长氧源的影响第80-82页
        3.4.2 电极尺寸大小的影响第82-83页
    3.5 本章小结第83-85页
    参考文献第85-88页
第四章 利用p-Si/HfO_2/Pt光电开关执行光控状态逻辑运算第88-104页
    4.1 p-Si/HfO_2/Pt光电器件的I-V特性第88-89页
    4.2 实质蕴涵逻辑运算第89-96页
        4.2.1 实质蕴涵逻辑电路第89-91页
        4.2.2 光电开关A和B上的压降理论计算以及R_0的选取第91-93页
        4.2.3 p-Si/HfO_2/Pt光电开关执行光控IMP逻辑第93-96页
    4.3 基于光控IMP逻辑的光控NAND、光控NOR、光控OR等逻辑运算第96-101页
        4.3.1 光控NAND逻辑运算第96-98页
        4.3.2 光控OR逻辑运算第98-99页
        4.3.3 光电NOR逻辑运算第99-101页
    4.4 本章小结第101-103页
    参考文献第103-104页
第五章 光电突触的可塑性模拟第104-116页
    5.1 神经突触仿生模拟第104-108页
        5.1.1 光照下的非线性传输特性的模拟第104-105页
        5.1.2 神经突触的光电可塑性模拟第105-108页
    5.2 多态以及可调节的光响应第108-113页
        5.2.1 不同条件调制后输出的光电流第108-110页
        5.2.2 可调节的响应度第110-111页
        5.2.3 可调节的响应时间第111-113页
    5.3 本章小结第113-114页
    参考文献第114-116页
第六章 CuO_x纳米晶电荷存储器件中光控存储性能的研究第116-126页
    6.1 CuO_x纳米晶电荷存储器件的制备第116-118页
    6.2 CuO_x纳米晶的物性表征第118-119页
    6.3 光照对电荷存储器件性能的影响第119-124页
        6.3.1 光照对电荷存储密度的影响第119-121页
        6.3.2 光照对写入/擦除速度的影响第121-122页
        6.3.3 光照对器件抗疲劳特性的影响第122-123页
        6.3.4 光照对器件保持性能的影响第123-124页
    6.4 本章小结第124-125页
    参考文献第125-126页
第七章 结论与展望第126-130页
    7.1 结论第126-128页
    7.2 展望第128-130页
攻读博士学位期间发表的论文第130-132页
致谢第132-133页

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