| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 薄膜太阳电池的基本介绍 | 第13-17页 |
| 1.1.1 太阳电池的研究背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 薄膜太阳电池发展现状 | 第14-17页 |
| 1.2 β-FeSi_2薄膜的基本介绍 | 第17-21页 |
| 1.2.1 β-FeSi_2薄膜的性质 | 第17-19页 |
| 1.2.2 β-FeSi_2薄膜的研究历史和现状 | 第19-21页 |
| 1.3 β-FeSi_2薄膜的制备方法 | 第21-26页 |
| 1.3.1 磁控溅射 | 第21-23页 |
| 1.3.2 化学气相沉积 | 第23页 |
| 1.3.3 脉冲激光沉积 | 第23-24页 |
| 1.3.4 分子束外延 | 第24-25页 |
| 1.3.5 固相外延 | 第25-26页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第26-27页 |
| 2 研究方法 | 第27-43页 |
| 2.1 薄膜制备：远源等离子体溅射系统 | 第27-35页 |
| 2.1.1 远源等离子体溅射系统简介 | 第27-31页 |
| 2.1.2 远源等离子体溅射系统的技术优势 | 第31-35页 |
| 2.2 靶材的选择 | 第35-36页 |
| 2.3 衬底的清洗 | 第36页 |
| 2.4 等离子体溅射生长β-FeSi_2薄膜 | 第36-37页 |
| 2.5 电极的制备 | 第37-38页 |
| 2.6 试样性能测试和表征方法 | 第38-43页 |
| 2.6.1 X射线衍射仪 | 第38-39页 |
| 2.6.2 表面轮廓仪(台阶仪) | 第39-40页 |
| 2.6.3 扫描电子显微镜 | 第40页 |
| 2.6.4 纳米压痕 | 第40-41页 |
| 2.6.5 霍尔测量系统 | 第41-42页 |
| 2.6.6 分光光度计 | 第42-43页 |
| 3 β-FeSi_2薄膜的制备及结构形貌分析 | 第43-56页 |
| 3.1 β-FeSi_2薄膜的制备及物相表征 | 第43-50页 |
| 3.1.1 不同靶材成分对薄膜结构的影响 | 第43-48页 |
| 3.1.2 不同退火温度对薄膜结构的影响 | 第48-50页 |
| 3.2 β-FeSi_2薄膜沉积速率的测定 | 第50-51页 |
| 3.3 β-FeSi_2薄膜的微观形貌分析 | 第51-52页 |
| 3.4 β-FeSi_2薄膜的力学性能分析 | 第52-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 β-FeSi_2薄膜的光电性能的研究 | 第56-73页 |
| 4.1 β-FeSi_2薄膜样品制备 | 第56-57页 |
| 4.2 β-FeSi_2薄膜电学性能的表征 | 第57-64页 |
| 4.2.1 β-FeSi_2薄膜电阻率的测定 | 第57-60页 |
| 4.2.2 β-FeSi_2薄膜载流子浓度和迁移率的测定 | 第60-64页 |
| 4.3 β-FeSi_2薄膜光学性能的表征 | 第64-71页 |
| 4.3.1 β-FeSi_2薄膜吸收光谱的测定 | 第64-66页 |
| 4.3.2 β-FeSi_2薄膜吸收系数的计算 | 第66-68页 |
| 4.3.3 β-FeSi_2薄膜禁带宽度的计算 | 第68-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 5 结论与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 结论 | 第73-74页 |
| 5.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |