| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 光学元件表面疵病检测国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 平面光学元件表面疵病检测研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 曲面光学元件表面疵病检测研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 曲面光学元件暗场扫描方案制定及误差分析 | 第17-32页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 曲面光学元件暗场检测方案制定 | 第17-22页 |
| 2.2.1 曲面光学元件暗场扫描原理分析 | 第17-19页 |
| 2.2.2 曲面光学元件暗场扫描路径规划 | 第19-22页 |
| 2.2.3 曲面光学元件暗场检测图像特点分析 | 第22页 |
| 2.3 暗场检测疵病定位误差分析及矫正 | 第22-31页 |
| 2.3.1 全口径图像拼接的误差分析 | 第23-27页 |
| 2.3.2 全口径图像拼接误差解决方案 | 第27-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 曲面光学元件暗场扫描图像采集方案设计及验证 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 曲面光学元件表面几何方程拟合 | 第32-35页 |
| 3.3 曲面光学元件暗场扫描软件功能设计 | 第35-38页 |
| 3.3.1 曲面光学元件表面疵病定位至明场视野中心 | 第35-36页 |
| 3.3.2 曲面光学元件暗场扫描采集图片拼接 | 第36-38页 |
| 3.4 熔石英曲面光学元件暗场扫描实验验证 | 第38-41页 |
| 3.4.1 熔石英曲面光学元件暗场扫描实验方案 | 第38页 |
| 3.4.2 熔石英曲面光学元件暗场扫描过程及结果分析 | 第38-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 曲面光学元件暗场扫描图像疵病识别研究 | 第42-59页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 曲面光学元件表面疵病信息提取算法 | 第42-56页 |
| 4.2.1 曲面光学元件表面疵病暗场成像分析 | 第42-43页 |
| 4.2.2 曲面光学元件暗场采集图像疵病识别 | 第43-55页 |
| 4.2.3 曲面光学元件表面疵病信息提取 | 第55-56页 |
| 4.3 曲面光学元件全口径三维图像的重构 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
