| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-38页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第13-15页 |
| 1.2 外差激光干涉测量技术研究现状 | 第15-34页 |
| 1.2.1 激光稳频技术研究现状 | 第17-25页 |
| 1.2.2 光学非线性误差补偿抑制技术研究现状 | 第25-30页 |
| 1.2.3 光频分裂技术研究现状 | 第30-34页 |
| 1.3 外差激光干涉测量技术中存在的关键技术问题 | 第34-36页 |
| 1.3.1 激光稳频技术频率复现性易受稳频温度影响的问题 | 第34-35页 |
| 1.3.2 外差激光干涉仪最大测量速度受激光光源频差限制的问题 | 第35页 |
| 1.3.3 外差激光干涉测量光学非线性误差无法有效抑制补偿的问题 | 第35-36页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第36-38页 |
| 第2章 基于纵模级数反馈的高频率复现性激光稳频技术研究 | 第38-56页 |
| 2.1 引言 | 第38页 |
| 2.2 外差激光干涉测量原理 | 第38-40页 |
| 2.3 功率平衡型激光热稳频技术 | 第40-44页 |
| 2.3.1 双纵模激光器基本特性 | 第40-44页 |
| 2.3.2 功率平衡型激光热稳频原理 | 第44页 |
| 2.4 激光频率复现性与激光器热状态关系分析 | 第44-52页 |
| 2.4.1 激光频率热漂移原理分析 | 第45-46页 |
| 2.4.2 传统激光稳频技术的频率复现性分析 | 第46-48页 |
| 2.4.3 稳频激光器的热场分析 | 第48-52页 |
| 2.5 基于纵模级数反馈的高频率复现性激光稳频技术 | 第52-55页 |
| 2.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第3章 基于空间分离的高速外差激光干涉测量技术研究 | 第56-72页 |
| 3.1 引言 | 第56页 |
| 3.2 外差激光干涉测量技术的最高速度分析 | 第56-59页 |
| 3.3 基于空间分离的高速外差激光干涉测量方法 | 第59-71页 |
| 3.3.1 空间分离型双频激光器 | 第60-62页 |
| 3.3.2 光束分离型干涉镜组原理及特性分析 | 第62-68页 |
| 3.3.3 高速外差激光干涉信号处理系统 | 第68-71页 |
| 3.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 外差激光干涉测量非线性误差及抑制技术研究 | 第72-99页 |
| 4.1 引言 | 第72页 |
| 4.2 传统非线性误差分析 | 第72-90页 |
| 4.2.1 理想外差激光干涉测量原理 | 第73-77页 |
| 4.2.2 外差激光干涉测量非线性误差分析 | 第77-90页 |
| 4.3 高速非线性误差分析与研究 | 第90-94页 |
| 4.4 光学非线性误差抑制技术 | 第94-98页 |
| 4.4.1 基于声光移频的外差激光干涉测量技术 | 第94-95页 |
| 4.4.2 基于空间分离的高速外差激光干涉测量技术 | 第95-98页 |
| 4.5 本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 系统设计与实验分析 | 第99-128页 |
| 5.1 引言 | 第99页 |
| 5.2 高速超精密外差激光干涉测量系统设计 | 第99-108页 |
| 5.2.1 系统组成 | 第99-100页 |
| 5.2.2 空间分离型双频激光器设计 | 第100-103页 |
| 5.2.3 光电接收器设计 | 第103-106页 |
| 5.2.4 干涉信号处理系统设计 | 第106-108页 |
| 5.3 高速超精密激光干涉测量实验 | 第108-126页 |
| 5.3.1 稳频激光器实验分析 | 第108-109页 |
| 5.3.2 光电探测单元实验分析 | 第109-113页 |
| 5.3.3 干涉信号处理系统实验分析 | 第113-119页 |
| 5.3.4 外差激光干涉测量系统速度光学测试 | 第119-120页 |
| 5.3.5 外差干涉测量系统性能测试 | 第120-122页 |
| 5.3.6 外差激光干涉测量系统非线性误差测试 | 第122-124页 |
| 5.3.7 位移测量比对实验 | 第124-126页 |
| 5.4 本章小结 | 第126-128页 |
| 结论 | 第128-131页 |
| 参考文献 | 第131-140页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第140-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 个人简历 | 第144页 |
