| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1. 引言 | 第10-11页 |
| 2. 绪论 | 第11-21页 |
| 2.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 2.1.1 红外探测器 | 第11-12页 |
| 2.1.2 纳米半导体结构的显微隧道(SPM)表征 | 第12页 |
| 2.2 红外探测器的发展 | 第12-15页 |
| 2.3 SPM技术的发展 | 第15-20页 |
| 2.3.1 AFM | 第15-17页 |
| 2.3.2 SCM | 第17页 |
| 2.3.3 SKM | 第17页 |
| 2.3.4 SSRM | 第17-20页 |
| 2.4 本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 3. 红外探测器件的生长和常规表征 | 第21-29页 |
| 3.1 红外探测器材料的生长 | 第21-23页 |
| 3.2 XRD、SEM和Raman光谱测量等常规表征方法 | 第23-29页 |
| 3.2.1 双晶X射线衍射DCXRD | 第23-24页 |
| 3.2.2 扫描电子显微镜SEM | 第24-26页 |
| 3.2.3 拉曼散射光谱测量 | 第26-27页 |
| 3.2.4 透射电子显微镜TEM | 第27-29页 |
| 4. 量子点垂直腔面发射激光器横截面的SPM表征 | 第29-45页 |
| 4.1 实验仪器 | 第29-32页 |
| 4.1.1 实验仪器的概述 | 第29-30页 |
| 4.1.2 接触式模式的工作原理 | 第30-32页 |
| 4.2 量子点垂直腔面发射激光器横截面的AFM表征 | 第32-45页 |
| 4.2.1 InGaAs/GaAs量子点垂直腔面发射激光器材料的结构 | 第32-33页 |
| 4.2.2 测试样品的制备 | 第33-34页 |
| 4.2.3 针尖的选择 | 第34-35页 |
| 4.2.4 实验操作 | 第35-38页 |
| 4.2.5 测试结果与分析 | 第38-45页 |
| 5. 红外探测材料结构的SPM表征 | 第45-60页 |
| 5.1 InGaAs/InAlAs量子级联样品的制备 | 第45-47页 |
| 5.1.1 InGaAs/InAlAs量子级联样品的结构 | 第45-46页 |
| 5.1.2 样品的制备 | 第46-47页 |
| 5.1.3 针尖的选择与实验操作 | 第47页 |
| 5.2 结果、讨论及改进 | 第47-55页 |
| 5.2.1 实验结果 | 第47-52页 |
| 5.2.2 讨论 | 第52-53页 |
| 5.2.3 实验改进及优化 | 第53-55页 |
| 5.3 改进后试验操作及结果 | 第55-60页 |
| 5.3.1 实验仪器配置 | 第55-56页 |
| 5.3.2 样品放置与欧姆接触 | 第56页 |
| 5.3.3 SSRM测试 | 第56-57页 |
| 5.3.4 SSRM结果 | 第57-60页 |
| 6. 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 作者简历及攻读硕士期间取得的研究成果 | 第64-66页 |
| 学位论文数据集 | 第66页 |
