快速倾斜镜压电陶瓷致动器迟滞特性建模及控制研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 快速倾斜镜结构及工作原理 | 第10-11页 |
| 1.3 压电陶瓷致动器控制系统综述 | 第11-19页 |
| 1.3.1 压电陶瓷位移微观机理 | 第11-13页 |
| 1.3.2 压电陶瓷驱动及检测技术 | 第13-14页 |
| 1.3.3 压电陶瓷迟滞数学模型 | 第14-17页 |
| 1.3.4 压电陶瓷控制方法 | 第17-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 快速倾斜镜控制系统电路设计与实现 | 第20-36页 |
| 2.1 电路原理设计 | 第20-30页 |
| 2.1.1 驱动电路设计 | 第20-23页 |
| 2.1.2 检测电路设计 | 第23-25页 |
| 2.1.3 控制电路和AD/DA转换电路设计 | 第25-26页 |
| 2.1.4 EMC设计 | 第26-29页 |
| 2.1.5 电路实物图 | 第29-30页 |
| 2.2 电路性能实验测试 | 第30-31页 |
| 2.2.1 驱动电路纹波噪声 | 第30页 |
| 2.2.2 驱动电路阶跃响应 | 第30页 |
| 2.2.3 驱动电路线性误差 | 第30-31页 |
| 2.2.4 检测电路噪声 | 第31页 |
| 2.3 压电陶瓷致动器迟滞特性分析 | 第31-35页 |
| 2.3.1 输入输出迟滞特性 | 第31-33页 |
| 2.3.2 迟滞形状特性 | 第33-34页 |
| 2.3.3 迟滞频率特性 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 压电陶瓷致动器PI迟滞模型研究 | 第36-57页 |
| 3.1 压电陶瓷致动器迟滞模型建立 | 第36-41页 |
| 3.1.1 经典PI模型 | 第36-37页 |
| 3.1.2 改进PI模型 | 第37-41页 |
| 3.2 压电陶瓷致动器迟滞参数辨识 | 第41-47页 |
| 3.2.1 基于多项式最小二乘法的参数辨识 | 第41-44页 |
| 3.2.2 模型验证与结果分析 | 第44-47页 |
| 3.3 压电陶瓷致动器迟滞逆模型跟踪实验 | 第47-56页 |
| 3.3.1 逆模型参数辨识 | 第47-48页 |
| 3.3.2 实验数据与结果分析 | 第48-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 压电陶瓷致动器复合控制方法研究 | 第57-73页 |
| 4.1 压电陶瓷致动器数学模型 | 第57-59页 |
| 4.2 压电陶瓷致动器控制器设计 | 第59-64页 |
| 4.2.1 基于鲁棒控制的反馈控制器设计 | 第59-63页 |
| 4.2.2 基于改进PI逆模型的复合控制器设计 | 第63-64页 |
| 4.3 压电陶瓷致动器控制实验研究 | 第64-72页 |
| 4.3.1 仿真实验结果与分析 | 第64-66页 |
| 4.3.2 在线实验结果与分析 | 第66-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
