| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 微陀螺国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 微陀螺国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 目前国内外存在的问题 | 第13-14页 |
| 1.4 本文研究内容和创新特色及创新点 | 第14-16页 |
| 1.4.1 论文研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4.2 论文研究特色 | 第15页 |
| 1.4.3 论文创新点 | 第15-16页 |
| 第二章 梳状微机械陀螺理论基础 | 第16-23页 |
| 2.1 微机械陀螺的基本原理 | 第16-19页 |
| 2.1.1 Coriolis效应 | 第16页 |
| 2.1.2 微陀螺动力学方程 | 第16-18页 |
| 2.1.3 微陀螺的灵敏度和带宽 | 第18-19页 |
| 2.2 微机械陀螺中的空气阻尼 | 第19-22页 |
| 2.2.1 压膜阻尼 | 第19-20页 |
| 2.2.2 滑膜阻尼 | 第20-21页 |
| 2.2.3 模型驱动阻尼系数和检测阻尼系数的计算 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 梳状微陀螺弹性微梁的设计与分析 | 第23-33页 |
| 3.1 弹性微梁的设计 | 第23-28页 |
| 3.1.1 驱动微梁的设计 | 第23-26页 |
| 3.1.2 检测微梁的设计 | 第26-28页 |
| 3.2 对驱动微梁和检测微梁的仿真验证 | 第28-30页 |
| 3.3 微陀螺模态仿真分析 | 第30-32页 |
| 3.3.1 微陀螺有限元模型的建立 | 第30页 |
| 3.3.2 微陀螺模态仿真结果 | 第30-32页 |
| 3.3.3 仿真结果分析 | 第32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 微机械陀螺的刻蚀误差分析 | 第33-40页 |
| 4.1 刻蚀误差的基本理论 | 第33页 |
| 4.2 刻蚀误差有限元模型 | 第33-34页 |
| 4.3 刻蚀误差对微陀螺性能的影响 | 第34-39页 |
| 4.3.1 微陀螺模态仿真结果 | 第34-35页 |
| 4.3.2 刻蚀误差对微陀螺固有频率的影响 | 第35-36页 |
| 4.3.3 刻蚀误差对微陀螺模态的影响 | 第36-37页 |
| 4.3.4 刻蚀误差对微陀螺带宽的影响 | 第37-38页 |
| 4.3.5 刻蚀误差对微陀螺灵敏度的影响 | 第38-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 微梁梁宽误差对微陀螺性能的研究 | 第40-51页 |
| 5.1 微梁宽度误差的基本理论 | 第40-41页 |
| 5.2 微梁梁宽加工误差情况为3241(28)?(28)bbbb | 第41-46页 |
| 5.2.1 建立梁宽误差微陀螺有限元模型 | 第41-42页 |
| 5.2.2 梁宽误差对微陀螺固有频率的影响 | 第42页 |
| 5.2.3 梁宽误差对微陀螺模态的影响 | 第42-43页 |
| 5.2.4 梁宽误差对驱动模态耦合的影响 | 第43-44页 |
| 5.2.5 驱动模态耦合对微陀螺检测质量块输出精度的影响 | 第44-46页 |
| 5.3 微梁梁宽加工误差情况为 (28)(28)?(28)bbbbb4321或4321(28)?(28)bbbb | 第46-48页 |
| 5.3.1 建立梁宽误差微陀螺有限元模型 | 第46-47页 |
| 5.3.2 梁宽误差对微陀螺模态的影响 | 第47-48页 |
| 5.4 微梁梁宽加工误差情况为 (28)(28)(28)?bbbbb4321 | 第48-50页 |
| 5.4.1 建立梁宽误差微陀螺有限元模型 | 第48页 |
| 5.4.2 梁宽误差对微陀螺模态的影响 | 第48-50页 |
| 5.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 U型梁形状对微陀螺模态耦合的影响 | 第51-58页 |
| 6.1 建立最大梁宽误差下的微陀螺有限元模型 | 第51-52页 |
| 6.2 模态分析结果分析 | 第52-55页 |
| 6.3 谐响应分析结果 | 第55-56页 |
| 6.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第七章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 7.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 7.2 问题与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
