| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第10页 |
| ·国内外研究情况概述 | 第10-17页 |
| ·波前检测的方法 | 第11-13页 |
| ·点衍射干涉仪概述 | 第13-16页 |
| ·各种波前检测方法的对比 | 第16-17页 |
| ·主要内容 | 第17-19页 |
| 2 点衍射干涉仪的波前测试方案设计 | 第19-28页 |
| ·点衍射干涉仪的基本原理 | 第19-20页 |
| ·点衍射干涉仪的波前测试方案 | 第20-22页 |
| ·准直物镜的研制 | 第22-26页 |
| ·点衍射板的设计 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 点衍射干涉仪的关键器件与关键技术研究 | 第28-40页 |
| ·离轴抛物镜的实验研究 | 第28-29页 |
| ·点衍射板参数的测量 | 第29-32页 |
| ·点衍射板的结构 | 第29-30页 |
| ·白光干涉仪对点衍射板小孔的测量 | 第30-32页 |
| ·点衍射干涉仪的关键技术研究 | 第32-39页 |
| ·点衍射干涉仪的实验 | 第33-35页 |
| ·离焦条件下的光强衰减 | 第35-37页 |
| ·小孔直径与离焦量对参考波面的影响 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 相位恢复算法研究 | 第40-51页 |
| ·四相位拼接算法恢复圆载频干涉图 | 第40-45页 |
| ·四相位拼接法算法理论推导 | 第40-43页 |
| ·仿真分析与实验验证 | 第43-45页 |
| ·改进的坐标变换法恢复圆载频干涉图 | 第45-50页 |
| ·改进坐标变换算法理论推导 | 第45-47页 |
| ·仿真分析与实验验证 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 点衍射干涉仪的测量结果与误差分析 | 第51-63页 |
| ·点衍射干涉仪测量平行光管准直物镜 | 第51-58页 |
| ·点衍射干涉仪测量平行光管准直物镜实验方案 | 第51页 |
| ·点衍射干涉仪测量平行光管准直物镜的实验与结果 | 第51-53页 |
| ·ZYGO干涉仪测量平行光管准直物镜的实验与结果 | 第53-54页 |
| ·SID4波前传感器测量平行光管准直物镜的实验与结果 | 第54-57页 |
| ·三种方法结果的对比与分析 | 第57-58页 |
| ·点衍射干涉仪对近红外光出射波前的测量 | 第58-60页 |
| ·实验设计 | 第58-60页 |
| ·实验的调整及测量结果 | 第60页 |
| ·点衍射干涉仪在两波段下的波前测试 | 第60-62页 |
| ·实验方案的设计 | 第60-61页 |
| ·实验结果与分析 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·不足与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 | 第69页 |