点衍射干涉仪关键器件设计与基准波前分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·波前检测研究现状 | 第11-20页 |
| ·Shack-Hartmann法 | 第11-12页 |
| ·剪切干涉法 | 第12-13页 |
| ·点衍射干涉法 | 第13-19页 |
| ·研究现状小结 | 第19-20页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 波前检测点衍射干涉仪系统 | 第22-33页 |
| ·点衍射干涉系统 | 第22-23页 |
| ·技术指标 | 第22页 |
| ·主体光路设计 | 第22-23页 |
| ·准直物镜设计 | 第23-27页 |
| ·离轴抛物面几何模型 | 第23-24页 |
| ·离轴抛物镜设计 | 第24-27页 |
| ·点衍射板设计 | 第27-32页 |
| ·点衍射板类型 | 第27-28页 |
| ·基底厚度 | 第28-29页 |
| ·膜层厚度 | 第29-31页 |
| ·小孔直径 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 点衍射干涉系统基准波前分析 | 第33-58页 |
| ·点衍射相关分析理论 | 第33-37页 |
| ·矢量衍射分析法 | 第33-34页 |
| ·标量衍射分析法 | 第34-37页 |
| ·衍射基准波前光强分析 | 第37-45页 |
| ·基准波前近场光强分布 | 第37-39页 |
| ·基准波前远场光强分布 | 第39-40页 |
| ·点衍射板横向离焦对光强影响 | 第40-43页 |
| ·点衍射板轴向离焦对光强影响 | 第43-45页 |
| ·衍射基准波前质量分析 | 第45-57页 |
| ·小孔直径偏差 | 第45-46页 |
| ·小孔圆度偏差 | 第46-48页 |
| ·入射波前像差 | 第48-52页 |
| ·小孔横向对准偏差 | 第52-53页 |
| ·点衍射板轴向调整误差 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 实验与分析 | 第58-69页 |
| ·点衍射板小孔参数检测研究 | 第58-63页 |
| ·实验方案 | 第58-59页 |
| ·小孔深度检测结果 | 第59-60页 |
| ·深度检测实验分析 | 第60-62页 |
| ·小孔直径检测结果 | 第62-63页 |
| ·直径检测实验分析 | 第63页 |
| ·针孔衍射波前检测研究 | 第63-67页 |
| ·实验方案 | 第63-64页 |
| ·衍射波前检测结果 | 第64-65页 |
| ·误差分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69页 |
| ·有待解决的问题 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75页 |
