中频段干涉仪关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题研究背景 | 第7页 |
| ·中频段误差检测的应用 | 第7-9页 |
| ·高功率固体激光装置 | 第7-8页 |
| ·空间光学 | 第8页 |
| ·紫外光刻 | 第8-9页 |
| ·超精密光学加工 | 第9页 |
| ·中频段误差检测的发展概况 | 第9-10页 |
| ·本文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 2 功率谱密度PSD检测技术 | 第12-23页 |
| ·光学元件表面误差的划分和评价 | 第12-15页 |
| ·面形误差的划分 | 第12-13页 |
| ·常用的评价指标 | 第13-15页 |
| ·功率谱密度的定义 | 第15-16页 |
| ·功率谱密度的计算 | 第16-19页 |
| ·PSD的数值计算 | 第16-17页 |
| ·一维PSD与二维PSD | 第17-18页 |
| ·平均PSD的计算 | 第18-19页 |
| ·采样密度与PSD有效频率范围 | 第19-22页 |
| ·采样后可测的频率范围 | 第19-21页 |
| ·PSD测量的有效范围 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 PSD干涉仪的设计 | 第23-41页 |
| ·系统总体设计 | 第23-25页 |
| ·系统总体方案 | 第23-24页 |
| ·PSD干涉仪工作流程 | 第24页 |
| ·PSD干涉仪总体结构设计 | 第24-25页 |
| ·PSD干涉仪总体要求 | 第25页 |
| ·菲索波长调谐移相干涉仪 | 第25-27页 |
| ·干涉仪结构和原理 | 第25-26页 |
| ·波长调谐移相原理 | 第26-27页 |
| ·PSD干涉仪系统设计 | 第27-35页 |
| ·激光光源 | 第27-29页 |
| ·准直物镜 | 第29-31页 |
| ·标准参考平面镜 | 第31-32页 |
| ·光阑 | 第32-33页 |
| ·成像镜 | 第33-34页 |
| ·采集系统 | 第34-35页 |
| ·系统相干噪声分析 | 第35-39页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第35-36页 |
| ·四分之一波片 | 第36-37页 |
| ·准直透镜 | 第37-38页 |
| ·CCD保护玻璃 | 第38-39页 |
| ·系统的装调和测试 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 干涉仪系统传递函数测试 | 第41-50页 |
| ·系统传递函数的定义 | 第41-42页 |
| ·干涉仪系统传递函数的测试方法 | 第42-45页 |
| ·正弦相位光栅法 | 第42-43页 |
| ·台阶相位比较法 | 第43-45页 |
| ·标定PSD干涉仪系统传递函数 | 第45-48页 |
| ·标准台阶板 | 第45页 |
| ·实验和结果 | 第45-48页 |
| ·误差分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 总结 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 附录 | 第56页 |
