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铸造准单晶硅中主要杂质与缺陷的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-22页
   ·引言第9-10页
   ·太阳能电池用铸造多晶硅材料第10-15页
   ·非平衡少数载流子第15-16页
   ·铸造准单晶硅第16-20页
   ·本文主要研究内容第20-22页
第二章 实验过程及测试技术第22-28页
   ·实验过程第22-25页
     ·样品制备第22页
     ·表面形貌研究第22-23页
     ·缺陷的腐蚀第23-24页
     ·氧、碳杂质分析第24页
     ·少子寿命的研究第24页
     ·表面织构研究第24-25页
   ·主要实验设备第25-28页
     ·GEMINI检测仪第25页
     ·金相显微镜第25页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第25-26页
     ·微波光电导衰减仪(μ-PCD)第26页
     ·傅里叶红外光谱仪(FTIR)第26页
     ·紫外-可见-近红外分光光度计(UV-Vis-NIR)第26-28页
第三章 铸造准单晶硅中的缺陷与杂质研究第28-48页
   ·铸造准单晶硅中缺陷的研究第28-38页
     ·表面形貌第28-34页
     ·铸造准单晶硅中的缺陷第34-38页
   ·铸造准单晶硅中氧、碳杂质分析第38-44页
   ·铸造准单晶硅少子寿命的研究第44-47页
   ·小结第47-48页
第四章 铸造准单晶硅片的表面织构研究第48-55页
   ·实验过程第48-49页
   ·实验结果及分析第49-54页
   ·小结第54-55页
第五章 结论第55-56页
参考文献第56-60页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第60-61页
致谢第61页

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