| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·透明导电薄膜的研究背景 | 第10-12页 |
| ·ZnO 的基本特性 | 第12-17页 |
| ·ZnO 薄膜的溅射沉积原理 | 第17-20页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的研究进展 | 第20-23页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的应用 | 第23-24页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 2 AZO 薄膜制备及性能表征方法 | 第25-31页 |
| ·AZO 薄膜的制备技术 | 第25-28页 |
| ·AZO 薄膜性能的表征方法 | 第28-31页 |
| 3 AZO 薄膜溅射沉积和特性分析 | 第31-56页 |
| ·不同衬底对 AZO 性能的影响 | 第31-34页 |
| ·不同 Al_2O_3掺杂浓度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第34-38页 |
| ·衬底温度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第38-43页 |
| ·磁控溅射功率对 AZO 薄膜性能的影响 | 第43-47页 |
| ·工作气压对 AZO 薄膜性能的影响 | 第47-51页 |
| ·工作气体中 H_2和 O_2浓度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第51-56页 |
| 4 退火工艺对 AZO 薄膜性能的影响 | 第56-59页 |
| 5 全文总结与展望 | 第59-61页 |
| ·全文总结 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67页 |