| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·高精度微位移技术国内外发展现状 | 第12-21页 |
| ·高精度微位移平台国内外发展状况 | 第12-17页 |
| ·微位移平台压电驱动器磁滞特性模型国内外发展状况 | 第17-19页 |
| ·微位移平台压电驱动器控制技术国内外发展状况 | 第19-21页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 二维并联微动平台的设计 | 第22-35页 |
| ·微动平台的结构选择 | 第22-23页 |
| ·微动平台的刚度矩阵模型 | 第23-29页 |
| ·微动平台的结构优化 | 第29-31页 |
| ·微动平台的有限元分析 | 第31-32页 |
| ·微动平台的实验验证 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 压电驱动器磁滞特性的模糊建模 | 第35-51页 |
| ·压电驱动器磁滞特性的介绍 | 第35页 |
| ·模糊系统数学基础的简单介绍 | 第35-40页 |
| ·模糊集合 | 第35-36页 |
| ·隶属函数及其常用种类 | 第36-37页 |
| ·模糊集合的并集与交集 | 第37-38页 |
| ·反模糊化及其常用方法 | 第38-40页 |
| ·磁滞特性的模糊系统训练及建模 | 第40-44页 |
| ·模糊系统的模型结构 | 第40-43页 |
| ·模糊系统的训练及参数优化 | 第43-44页 |
| ·磁滞特性模糊模型的实验验证 | 第44-50页 |
| ·不同频率下磁滞曲线的建模 | 第44-46页 |
| ·不同幅度下磁滞曲线的建模 | 第46-48页 |
| ·不规则输入信号下磁滞曲线的建模 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 压电驱动器硬件在回路实验平台的搭建 | 第51-60页 |
| ·XPC TARGET 系统简介 | 第51-53页 |
| ·XPC TARGET 系统软硬件配置 | 第53-55页 |
| ·XPC TARGET 系统的启动 | 第55-57页 |
| ·S-FUNCTION BUILDER 模块的编制 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 压电驱动器磁滞补偿的模糊控制方法及实验 | 第60-75页 |
| ·基本非线性控制概念及方法简介 | 第60-64页 |
| ·反馈线性化 | 第60-62页 |
| ·确定等效控制器 | 第62-64页 |
| ·磁滞补偿的模糊控制实验 | 第64-74页 |
| ·模糊控制框图 | 第64-66页 |
| ·高频正弦轨迹的跟踪实验 | 第66-70页 |
| ·二维微动台的圆轨迹快速跟踪实验 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·本文主要研究工作及成果 | 第75-76页 |
| ·论文研究中的不足与改进 | 第76页 |
| ·研究展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 附录 | 第84-89页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第89页 |