组合沉积DLC薄膜界面光学特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第7-8页 |
| ·课题研究的背景 | 第7页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·课题相关国内外研究现状 | 第8-12页 |
| ·研究现状 | 第8-12页 |
| ·目前面临的问题 | 第12页 |
| ·研究内容 | 第12-13页 |
| ·课题来源 | 第12页 |
| ·研究的主要内容 | 第12-13页 |
| ·本文内容安排 | 第13-14页 |
| 2 研究方案及可行性分析研究 | 第14-20页 |
| ·研究方案技术路线 | 第14-15页 |
| ·可行性分析 | 第15-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 DLC界面层特性检测及分析技术研究 | 第20-37页 |
| ·界面层特性检测 | 第20页 |
| ·DLC薄膜光学特性检测技术 | 第20页 |
| ·DLC界面层分析技术研究 | 第20-36页 |
| ·单层DLC界面层特性分析研究 | 第21-31页 |
| ·双层DLC界面层特性分析研究 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 DLC界面层获取技术与样片制备 | 第37-49页 |
| ·制备方法的选取 | 第37页 |
| ·制备技术 | 第37-42页 |
| ·非平衡磁控溅射技术 | 第37-39页 |
| ·脉冲真空电弧离子镀 | 第39-42页 |
| ·样片制备过程 | 第42-43页 |
| ·样片制备参数设计 | 第43-48页 |
| ·单方式试验 | 第43-46页 |
| ·组合试验 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 DLC界面层特性与分析 | 第49-65页 |
| ·工艺参数与界面层厚度的关系 | 第49-54页 |
| ·工艺参数与界面层折射率、消光系数的关系 | 第54-59页 |
| ·工艺参数与透过率的关系 | 第59-61页 |
| ·界面层参数与透过率的关系 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 6 结论 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
