| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 引言 | 第10-14页 |
| 参考文献 | 第12-14页 |
| 第一章 综述 | 第14-27页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第14-20页 |
| ·ZnO薄膜的晶体结构 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的光电性质 | 第15-16页 |
| ·ZnO薄膜的气敏性质 | 第16页 |
| ·ZnO薄膜的压敏性质 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的紫外受激发射性质 | 第17-19页 |
| ·掺杂ZnO薄膜的磁学性质 | 第19-20页 |
| ·ZnO薄膜的压电性质 | 第20页 |
| ·ZnO薄膜的研究现状及进展 | 第20-21页 |
| ·ZnO材料研究中存在的问题 | 第21-22页 |
| ·本论文的主要工作 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第二章 氧化锌薄膜制备技术及表征手段 | 第27-37页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第27-31页 |
| ·射频溅射法 | 第27-28页 |
| ·分子束外延法 | 第28页 |
| ·化学气相沉积法 | 第28-29页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第29页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第29-31页 |
| ·电子束蒸发法 | 第31页 |
| ·锌膜氧化法 | 第31页 |
| ·样品的分析和表征手段 | 第31-35页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第31-33页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第33页 |
| ·荧光光谱 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-37页 |
| 第三章 溶胶—凝胶法原理和发展 | 第37-43页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·Sol-gel技术的分类与机理 | 第37-41页 |
| ·胶体溶胶—凝胶法 | 第37-38页 |
| ·金属有机物转变为无机聚合物的凝胶法 | 第38-40页 |
| ·形成有机聚合物的凝胶法 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-43页 |
| 第四章 采用Sol-gel方法制备ZnO薄膜 | 第43-55页 |
| ·ZnO薄膜的制备(方法一) | 第43-48页 |
| ·KW匀胶机 | 第43-44页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第44页 |
| ·实验结果和讨论 | 第44-48页 |
| ·不同退火模式对纯ZnO薄膜的微结构影响 | 第44-48页 |
| ·A退火过程对ZnO薄膜微结构的影响 | 第44-46页 |
| ·B退火过程对ZnO薄膜微结构的影响 | 第46-47页 |
| ·比较以上两种不同退火过程 | 第47-48页 |
| ·ZnO薄膜的制备(方法二) | 第48-54页 |
| ·实验结果和讨论 | 第48-54页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜结晶程度的影响 | 第48-49页 |
| ·ZnO薄膜的光致发光谱分析 | 第49-50页 |
| ·ZnO薄膜的吸收光谱分析 | 第50-51页 |
| ·有无参考片(玻璃)对ZnO薄膜透射率的影响 | 第51-52页 |
| ·ZnO薄膜的透射光谱分析 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第五章 采用PVA方法制备Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜及性能研究 | 第55-74页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验方法 | 第55-56页 |
| ·实验结果和讨论 | 第56-73页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜的XRD分析 | 第56-64页 |
| ·层数对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜结构的影响 | 第56-57页 |
| ·升温速率对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜结构的影响 | 第57-58页 |
| ·退火温度Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜择优取向的影响 | 第58-59页 |
| ·退火温度Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜晶化程度的影响 | 第59-60页 |
| ·Zn_(0.8)Mg_(0.2)O合金薄膜样品的表面形貌 | 第60-61页 |
| ·Mg~(2+)的含量对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜结构的影响 | 第61-63页 |
| ·Mg~(2+)的含量对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜晶格常数的影响 | 第63页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜结构与Mg~(2+)的含量之间的关系 | 第63-64页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜的发光性能的表征 | 第64-73页 |
| ·升温速率对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜光致发光的影响 | 第64-65页 |
| ·Mg~(2+)的含量对Zn_(1-x)Mg_x O合金薄膜光致发光的影响 | 第65-66页 |
| ·不同的退火温度对Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜光致发光的影响 | 第66-67页 |
| ·升温速率对Zn_(1-x)Mg-x O合金薄膜吸收光谱的影响 | 第67-68页 |
| ·Mg~(2+)的含量对Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜吸收光谱的影响 | 第68-69页 |
| ·退火温度对Zn_(0.8)Mg_(0.2)O薄膜吸收光谱的影响 | 第69-70页 |
| ·升温速率对Zn_(1-x)Mg_xO合金薄膜透射光谱的影响 | 第70页 |
| ·不同含量对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜透射光谱的影响 | 第70-71页 |
| ·退火温度对Zn_(0.8)Mg_(0.2)O薄膜透射光谱的影响 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第六章 结论 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第76页 |
