| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| ·二氧化钛简介 | 第11-12页 |
| ·二氧化钛薄膜的制备方法 | 第12-17页 |
| ·物理气相沉积法 | 第13-14页 |
| ·化学气相沉积法 | 第14-15页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第15页 |
| ·阴极沉积法 | 第15-16页 |
| ·阳极氧化法 | 第16页 |
| ·其它方法 | 第16页 |
| ·发展趋势 | 第16-17页 |
| ·掺氮 TiO_2薄膜的制备 | 第17-19页 |
| ·溅射法制备掺氮TiO_2 | 第17-18页 |
| ·加热前驱体法 | 第18页 |
| ·脉冲激光等离子体沉积(PLD) | 第18页 |
| ·机械化学-煅烧法 | 第18页 |
| ·离子注入法 | 第18-19页 |
| ·发展趋势 | 第19页 |
| ·TiO_2结构对性能的影响 | 第19-25页 |
| ·二氧化钛纳米化结构对性能的影响 | 第19-20页 |
| ·能带的结构特点对性能的影响 | 第20-21页 |
| ·TiO_2薄膜的表面积和厚度对性能的影响 | 第21页 |
| ·晶粒尺度对性能的影响 | 第21-22页 |
| ·表面结构对性能的影响的影响 | 第22页 |
| ·掺杂对性能的影响 | 第22-25页 |
| ·热氧化法和双层辉光离子渗金属技术 | 第25-29页 |
| ·金属热氧化法 | 第25-26页 |
| ·双层辉光离子渗金属法 | 第26-29页 |
| ·课题的提出 | 第29-31页 |
| ·课题提出依据 | 第29-30页 |
| ·主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第二章 实验方法 | 第31-37页 |
| ·试样制备 | 第31页 |
| ·纯钛试样制备 | 第31页 |
| ·基材不锈钢和源极试样制备 | 第31页 |
| ·实验设备 | 第31-32页 |
| ·热氧化处理设备 | 第31-32页 |
| ·双层辉光反应溅射设备 | 第32页 |
| ·实验内容及参数 | 第32-33页 |
| ·纯钛热处理试样及参数 | 第32-33页 |
| ·不锈钢试样处理及参数 | 第33页 |
| ·实验工艺 | 第33-34页 |
| ·热处理纯钛工艺 | 第33页 |
| ·双层辉光反应溅射工艺 | 第33-34页 |
| ·实验过程 | 第34-35页 |
| ·纯钛热处理实验过程 | 第34页 |
| ·反应气体量大条件下双层辉光反应溅射实验过程 | 第34-35页 |
| ·反应气体量小条件下双层辉光反应溅射实验过程 | 第35页 |
| ·反应气体量小条件下双层辉光反应溅射试样再热氧化过程 | 第35页 |
| ·测试分析 | 第35-37页 |
| ·X射线衍射分析 | 第35页 |
| ·改性层的元素分布分析 | 第35页 |
| ·金相观察和硬度测试 | 第35-36页 |
| ·紫外可见分析 | 第36-37页 |
| 第三章 纯钛表面热氧化生成 TiO_2和氮掺杂 TiO_2薄膜的研究 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·纯钛表面热氧化生成 TiO_2薄膜的研究 | 第37-41页 |
| ·不同温度热氧化后纯钛表面的XRD分析 | 第37-39页 |
| ·不同温度热氧化后纯钛表面的成分分析 | 第39-41页 |
| ·纯钛表面热氧化形成氮掺杂 TiO_2薄膜 | 第41-45页 |
| ·氮掺杂对生成 TiO_2薄膜的影响 | 第41-43页 |
| ·不同掺氮量对生成 TiO_2薄膜的影响 | 第43-45页 |
| ·小节 | 第45-46页 |
| 第四章 纯钛表面 TiO_2薄膜的紫外光谱和硬度研究 | 第46-52页 |
| ·纯钛表面 TiO_2的紫外光谱研究 | 第46-48页 |
| ·前言 | 第46页 |
| ·热氧化温度对 TiO_2薄膜紫外光谱的影响 | 第46-47页 |
| ·氮掺杂对 TiO_2薄膜紫外光谱的影响 | 第47-48页 |
| ·纯钛表面 TiO_2薄膜的硬度研究 | 第48-51页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·硬度分析 | 第49-51页 |
| ·小节 | 第51-52页 |
| 第五章 双辉反应溅射技术形成 TiO_2薄膜的初步实验研究 | 第52-58页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·利用双辉反应溅射技术在不锈钢表面形成 TiO_2薄膜 | 第52-55页 |
| ·不锈钢表面形成 TiO_2薄膜与纯钛热氧化形成 TiO_2薄膜的比较 | 第55-57页 |
| ·制备方法对比 | 第55页 |
| ·实验结果对比 | 第55-57页 |
| ·小节 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 硕士期间发表论文 | 第66页 |
