| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·MEMS 技术 | 第8-10页 |
| ·MEMS 技术概论 | 第8页 |
| ·MEMS 技术的应用范围 | 第8-9页 |
| ·MEMS 技术的发展现状与趋势 | 第9-10页 |
| ·微流控芯片技术 | 第10-12页 |
| ·微流控芯片的特点与发展现状 | 第10-11页 |
| ·微流控芯片的基底材料 | 第11页 |
| ·微流控芯片的应用 | 第11-12页 |
| ·微流控芯片的发展趋势与挑战 | 第12页 |
| ·微电极技术 | 第12-14页 |
| ·微电极的特点与发展现状 | 第12-13页 |
| ·微电极的分类与制作 | 第13页 |
| ·微电极的应用 | 第13-14页 |
| ·微电极技术的前景展望 | 第14页 |
| ·LTCC 技术 | 第14-16页 |
| ·LTCC 技术的特点与发展现状 | 第14-15页 |
| ·LTCC 技术在微流控芯片领域的应用与发展现状 | 第15页 |
| ·LTCC 技术在微流控芯片领域的发展前景与所遇到的挑战 | 第15-16页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第16页 |
| 参考文献 | 第16-22页 |
| 第二章 微流控芯片的制造 | 第22-34页 |
| ·微流控芯片制作工艺类型 | 第22-23页 |
| ·应用于光学检测的基于玻璃基底的微流控芯片 | 第23-28页 |
| ·微流控芯片在光学检测中的应用 | 第23页 |
| ·试剂，材料与设备 | 第23页 |
| ·芯片结构设计 | 第23-24页 |
| ·微流控芯片制作工艺流程 | 第24-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-32页 |
| ·PDMS 基体与基底键合方式 | 第28-29页 |
| ·PDMS 基体与基底键合机理 | 第29-30页 |
| ·微流控芯片测试结果 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 微电极阵列的制造 | 第34-53页 |
| ·微电极阵列制作工艺流程 | 第34-40页 |
| ·试剂，材料与设备 | 第34页 |
| ·微电极阵列的结构设计 | 第34-35页 |
| ·微电极阵列的工艺流程 | 第35-40页 |
| ·微电极阵列性能检测 | 第40-50页 |
| ·电极形貌检测 | 第40-41页 |
| ·电化学研究在生命科学中的应用 | 第41页 |
| ·双通道电化学检测仪MCV | 第41-43页 |
| ·化学修饰金电极阵列的电化学性能检测 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 第四章 LTCC 血液分离器件的制造 | 第53-66页 |
| ·LTCC 血液分离器件结构设计与仿真分析 | 第53-57页 |
| ·血液分离器件结构设计 | 第53-55页 |
| ·血液分离器件流体仿真分析 | 第55-57页 |
| ·LTCC 血液分离器件的工艺流程 | 第57-61页 |
| ·制作材料与设备 | 第57页 |
| ·Ferro A6-S 材料特性 | 第57页 |
| ·冲孔文件设计 | 第57-59页 |
| ·冲孔操作 | 第59页 |
| ·迭片操作 | 第59-60页 |
| ·烧结操作 | 第60-61页 |
| ·LTCC 血液分离器件性能测试 | 第61-65页 |
| ·三维结构分析 | 第61-62页 |
| ·血液分离测试 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |