厚膜混合集成压力传感器

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
插图或附表清单	第10-12页
1 绪论	第12-16页
·集成传感器	第12-13页
·传感器的定义与分类	第12-13页
·传感器的集成	第13页
·厚膜混合工艺	第13-14页
·扩散硅压力传感器	第14-15页
·混合集成压力传感器	第15-16页
2 基本理论	第16-31页
·传感器的特性	第16-24页
·硅材料的压阻效应	第24-29页
·扩散硅的压阻效应	第29-31页
3 压力传感器的设计	第31-44页
·力敏芯片设计	第31-33页
·传感器工作原理	第31-32页
·力敏芯片版图设计	第32-33页
·压力传感器的电路设计	第33-41页
·力敏元件的供电方式	第33-35页
·补偿电路	第35-39页
·信号放大电路	第39-41页
·压力传感器的电路布图设计	第41-44页
4 压力传感器的加工工艺	第44-61页
·敏感元件的加工工艺	第44-46页
·外围电路的加工工艺	第46-61页
·工艺形式的选择	第47-49页
·厚膜元件与材料	第49-53页
·厚膜混合电路制作工艺	第53-55页
·厚膜混合电路主要加工工艺	第55-61页
5 厚膜混合集成压力传感器的研制结果	第61-66页
·技术指标	第61页
·混合集成压力传感器的测试结果	第61-65页
·对课题的展望	第65-66页
6 结论	第66-67页
参考文献	第67-70页
在学研究成果	第70-71页
致谢	第71页