纳米级光栅位移测量中关键技术的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| §1．1 研究背景及课题来源 | 第8-10页 |
| §1．1．1 纳米测量技术的重要性 | 第8页 |
| §1．1．2 纳米级位移测量仪器的比较 | 第8-9页 |
| §1．1．3 课题来源 | 第9-10页 |
| §1．2 单光栅法测量光路 | 第10页 |
| §1．3 条纹细分方法概述 | 第10-12页 |
| §1．4 本文的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 莫尔干涉条纹采集与系统软件设计 | 第13-23页 |
| §2．1 光电传感器的选择 | 第13-14页 |
| §2．1．1 引言 | 第13页 |
| §2．1．2 象限探测器 | 第13页 |
| §2．1．3 光电阵列探测器 | 第13-14页 |
| §2．2 数据采集卡的设计 | 第14-18页 |
| §2．2．1 采集卡的组成 | 第14-15页 |
| §2．2．2 光电阵列探测器和A/D的时序控制 | 第15-17页 |
| §2．2．3 DSP和PC的同步 | 第17-18页 |
| §2．3 基于多线程技术的数据采集 | 第18-19页 |
| §2．3．1 引言 | 第18页 |
| §2．3．2 多线程技术概述 | 第18-19页 |
| §2．3．3 多线程技术在条纹采集中的实现方案 | 第19页 |
| §2．4 系统的软件设计 | 第19-22页 |
| §2．4．1 系统软件开发平台的选取 | 第19-20页 |
| §2．4．2 系统软件的设计需求 | 第20页 |
| §2．4．3 系统软件的结构 | 第20页 |
| §2．4．4 系统软件的界面 | 第20-22页 |
| §2．5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 莫尔干涉条纹的频谱分析 | 第23-31页 |
| §3．1 条纹光强的数学模型 | 第23-25页 |
| §3．1．1 高斯球面波的干涉 | 第23-25页 |
| §3．1．2 条纹光强分布函数的分解 | 第25页 |
| §3．2 基于离散傅立叶变换的条纹频谱分析 | 第25-29页 |
| §3．2．1 条纹的空间采样 | 第25-26页 |
| §3．2．2 条纹信号的离散傅立叶变换 | 第26页 |
| §3．2．3 能量泄漏分析及处理 | 第26-28页 |
| §3．2．4 离散傅立叶变换的实现 | 第28-29页 |
| §3．3 实验及结果分析 | 第29-30页 |
| §3．4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 基于自相关系数的条纹细分算法 | 第31-45页 |
| §4．1 细分原理 | 第31-33页 |
| §4．1．1 余弦函数的自相关系数 | 第31-32页 |
| §4．1．2 信号的相位差与其自相关系数的关系 | 第32页 |
| §4．1．3 条纹的辨向 | 第32-33页 |
| §4．2 细分方法的实现 | 第33-34页 |
| §4．3 仿真与实验 | 第34-39页 |
| §4．3．1 对模拟数据的处理 | 第34-38页 |
| §4．3．2 对测量数据的处理 | 第38页 |
| §4．3．3 频率滤波 | 第38-39页 |
| §4．3．4 对滤波后的数据处理 | 第39页 |
| §4．4 误差分析 | 第39-44页 |
| §4．5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 基于遗传算法的条纹细分方法 | 第45-56页 |
| §5．1 遗传算法的基本原理 | 第45-47页 |
| §5．1．1 遗传算法概述 | 第45页 |
| §5．1．2 遗传算法的实现 | 第45-47页 |
| §5．1．3 遗传算法的特点 | 第47页 |
| §5．2 细分原理 | 第47-49页 |
| §5．3 原理实现与遗传算法的改进 | 第49-52页 |
| §5．3．1 条纹细分原理的实现 | 第49-51页 |
| §5．3．2 遗传算法的改进 | 第51-52页 |
| §5．4 仿真与实验 | 第52-55页 |
| §5．4．1 对模拟数据的处理 | 第52-53页 |
| §5．4．2 对测量数据的处理 | 第53-54页 |
| §5．4．3 误差分析与改进策略 | 第54-55页 |
| §5．4．4 改进后的效果 | 第55页 |
| §5．5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 基于傅立叶变换的条纹细分方法 | 第56-65页 |
| §6．1 引言 | 第56页 |
| §6．2 细分原理 | 第56-59页 |
| §6．2．1 相位差与频谱的关系 | 第56-58页 |
| §6．2．2 条纹的辨向与相位差的确定 | 第58-59页 |
| §6．3 原理实现 | 第59-60页 |
| §6．3．1 基频位置的确定 | 第59页 |
| §6．3．2 算法的实现步骤及流程 | 第59-60页 |
| §6．4 仿真与实验 | 第60-64页 |
| §6．4．1 对模拟数据的处理 | 第60-63页 |
| §6．4．2 对测量数据的处理 | 第63-64页 |
| §6．4．3 结果分析 | 第64页 |
| §6．5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第七章 结论与展望 | 第65-67页 |
| §7．1 全文总结 | 第65页 |
| §7．2 研究展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74页 |
