用于集成光学频谱分析器的铌酸锂共线声光波导研究
| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| ·声光频谱分析技术的国内外发展现状 | 第8-12页 |
| ·块体声光频谱分析器研究进展 | 第9-10页 |
| ·非共线声光波导频谱分析器研究进展 | 第10-11页 |
| ·共线声光波导频谱分析器研究进展 | 第11-12页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第12页 |
| ·本文的主要工作及创新 | 第12-14页 |
| 第二章 声光波导频谱分析器基本原理 | 第14-30页 |
| ·声光作用原理 | 第14-23页 |
| ·声光互作用基本原理 | 第14-17页 |
| ·质子交换LiNbO3波导中的共线声光作用 | 第17-22页 |
| ·质子交换LiNbO3波导中共线声光模式转换效率 | 第22-23页 |
| ·叉指换能器工作原理 | 第23-28页 |
| ·叉指换能器的基本结构及工作原理 | 第23-24页 |
| ·叉指换能器的输出特性及相关参数 | 第24-26页 |
| ·叉指换能器的δ函数模型 | 第26-28页 |
| ·共线声光波导频谱分析器工作原理 | 第28-30页 |
| 第三章 器件设计 | 第30-35页 |
| ·结构设计 | 第30-31页 |
| ·总体方案设计 | 第30页 |
| ·衬底设计 | 第30-31页 |
| ·波导设计 | 第31-32页 |
| ·质子交换条件的确定 | 第31-32页 |
| ·波导设计 | 第32页 |
| ·叉指换能器设计 | 第32-35页 |
| 第四章 工艺及制作 | 第35-39页 |
| ·质子交换法概述 | 第35页 |
| ·波导制作工艺 | 第35-37页 |
| ·叉指换能器的制作 | 第37-39页 |
| 第五章 相关测试方案 | 第39-44页 |
| ·棱镜耦合法 | 第39-40页 |
| ·波导折射率及厚度的计算方法 | 第40-41页 |
| ·反WKB法计算波导折射率剖面轮廓 | 第41-42页 |
| ·沟道波导通光测试 | 第42-44页 |
| 第六章 工艺问题分析及讨论 | 第44-51页 |
| ·工艺各环节中遇到的问题及分析 | 第45-49页 |
| ·清洗 | 第45页 |
| ·镀膜与光刻 | 第45-46页 |
| ·质子交换和退火 | 第46-49页 |
| ·改进工艺方法及更换材料后制作结果 | 第49-51页 |
| 第七章 结束语 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 致 谢 | 第54-55页 |
| 附录A 掩膜版图 | 第55-56页 |
| 附录B 波导层厚度及折射率求解程序代码 | 第56-58页 |
| 附录C 波导层折射率分布模拟程序代码 | 第58-60页 |
| 个人简历 | 第60页 |
