| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·ZNO 材料的研究历史及其现状 | 第7-9页 |
| ·氧化锌材料的性质和生长方法 | 第9-13页 |
| ·氧化锌材料的ECV 测量 | 第13-15页 |
| 第二章 MOCVD 反应系统和生长机制及ECV 原理 | 第15-38页 |
| ·ZNO 薄膜MOCVD 生长 | 第15-23页 |
| ·ZnO 薄膜MOCVD 生长的源材料 | 第15-18页 |
| ·用于ZnO 生长的MOCVD 反应系统 | 第18-21页 |
| ·样品的表征 | 第21-23页 |
| ·电化学CV(ECV)测试原理 | 第23-38页 |
| ·腐蚀过程（Etching） | 第25-26页 |
| ·相关的公式推导 | 第26-28页 |
| ·PN4300 的参量模型 | 第28-29页 |
| ·电解池 | 第29-32页 |
| ·因子 | 第32-38页 |
| 第三章 锌源流量对MOCVD 生长ZNO 薄膜的影响 | 第38-47页 |
| ·ZNO 薄膜的MOCVD 生长 | 第38-39页 |
| ·DEZN 流量对于ZNO 薄膜的生长效果的影响 | 第39-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 ECV 的相关测试 | 第47-58页 |
| ·GAAS 的ECV 的相关测试 | 第47-51页 |
| ·ZNO 的ECV 测试 | 第51-57页 |
| ·氧化锌的接触电阻的解决 | 第51-52页 |
| ·氧化锌的电解液的选择 | 第52-53页 |
| ·氧化锌的ECV 测量 | 第53-57页 |
| ·本章小节 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 摘要 | 第63-65页 |
| ABSTRACT | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68页 |