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坩埚表面Si3N4改性对定向凝固提纯多晶硅性能影响研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-21页
   ·光伏产业多晶硅材料的制备第10-12页
   ·太阳电池用多晶硅的特点第12-15页
   ·定向凝固提纯多晶硅对坩埚的要求第15-17页
   ·表面改性技术对材料的要求第17-18页
   ·本文的研究内容与创新点第18-21页
第二章 实验设计第21-33页
   ·实验原料与设备第21-24页
     ·实验原料第21-22页
     ·样品制备设备第22-23页
     ·分析检测设备第23-24页
   ·实验原理第24-28页
     ·晶体生长基础第24-26页
     ·定向凝固原理第26-28页
   ·改性材料的选择依据第28-29页
   ·实验方案与步骤第29-33页
     ·不同冷凝速率对铸造多晶硅性能的影响实验方案第29-30页
     ·不同纯度的原料所得多晶硅锭的性能比较第30-33页
第三章 坩埚表面改性对定向凝固提纯多晶硅组织结构的影响第33-63页
   ·概述第33-34页
   ·实验部分第34-35页
   ·实验结果与分析第35-61页
     ·晶体宏观生长形貌分析第35-38页
     ·缺陷密度分析第38-43页
     ·位错密度分析第43-46页
     ·定向凝固提纯多晶硅中的晶界第46-59页
     ·冶金法多晶硅的择优生长取向第59-61页
   ·本章小结第61-63页
第四章 坩埚表面改性对定向凝固提纯多晶硅材料电学性能的影响研究第63-74页
   ·概述第63页
   ·实验设备与原理第63-64页
   ·实验结果与分析第64-70页
     ·坩埚表面改性对定向凝固提纯多晶硅少子寿命的影响第64-68页
     ·坩埚表面改性对定向凝固提纯多晶硅锭电阻率的影响第68-70页
   ·不同纯度原料在表面改性后坩埚内硅锭的电学性能比较第70-73页
   ·本章小结第73-74页
第五章 结论与展望第74-76页
   ·结论第74-75页
   ·展望与建议第75-76页
致谢第76-77页
参考文献第77-83页
附录 攻读硕士期间的学术成果及获得奖励第83页

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