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基于垂直层叠结构的CMOS像素和图像传感器研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-10页
目次第10-14页
1 绪论第14-26页
   ·课题背景第15-18页
   ·研究现状第18-23页
   ·内容结构第23-24页
   ·主要研究成果第24-26页
2 图像传感器像素简介第26-52页
   ·评价图像传感器像素的重要参数第26-29页
     ·填充率第27页
     ·量子效率第27页
     ·转换增益第27页
     ·感光度第27页
     ·噪声第27-29页
       ·散粒噪声第27-28页
       ·kTC噪声第28页
       ·1/f和RTS噪声第28页
       ·FPN噪声第28-29页
       ·信噪比第29页
       ·动态范围第29页
   ·感光器件结构与原理第29-31页
   ·经典像素结构与读出电路第31-37页
     ·PPS被动型像素第32-33页
     ·三管APS主动型像素第33-35页
     ·四管APS主动型像素第35-37页
   ·彩色像素第37-50页
     ·基于滤色片列阵的彩色像素第37-39页
     ·基于三色分光的彩色像素第39-40页
     ·垂直层叠彩色像素第40-50页
       ·基于耗尽区宽度调制的垂直层叠彩色像素第42页
       ·基于多层垂直层叠结构的彩色像素第42-47页
       ·基于多层垂直层叠结构和CFA混合的彩色像素第47-50页
       ·基于两层垂直结构的单色像素第50页
   ·本章小结第50-52页
3 垂直层叠像素的建模和仿真第52-76页
   ·半导体器件建模和仿真方法概述第52-54页
   ·两层垂直层叠结构像素的建模和仿真第54-62页
     ·模型的构建第55-59页
     ·仿真结果和分析第59-62页
   ·基于两层层叠结构的可见/近红外像素建模和仿真第62-70页
     ·器件结构第63-64页
     ·数值仿真第64-65页
     ·性能优化第65-70页
   ·基于三层垂直层叠结构的彩色像素的建模和仿真第70-75页
     ·基本仿真设置和结果第70-73页
     ·斜入射光线效应的仿真第73-75页
   ·本章小结第75-76页
4 基于CMOS工艺的大尺寸两层垂直层叠像素的设计和测试第76-98页
   ·测试像素设计第76-80页
   ·测试平台第80-91页
     ·光源系统第80-81页
     ·光源标定系统第81-83页
     ·微弱电流测量系统第83-90页
     ·平台整合第90-91页
   ·测试结果第91-94页
   ·理论仿真结果与测试结果的比较第94-97页
   ·本章小结第97-98页
5 基于CMOS工艺的两层垂直层叠像素和面阵图像传感器第98-132页
   ·CMOS两层垂直层叠结构像素设计第98-108页
     ·采用PPS形式的像素结构第99-100页
     ·采用六管APS形式的像素结构第100-102页
     ·采用八管APS形式的像素结构第102-104页
     ·采用类似X3工艺形式的像素结构第104-108页
   ·CMOS两层垂直层叠结构像素读出电路设计第108-116页
   ·面阵图像传感器读出架构第116-125页
   ·实测结果第125-130页
   ·本章小结第130-132页
6 多层垂直层叠结构像素图像传感器的色彩校正处理第132-152页
   ·三层垂直层叠结构像素的色彩信息还原第132-139页
     ·配色函数第132-135页
     ·基于配色函数匹配的色彩校正第135-139页
   ·两层垂直层叠结构配合两色滤光片彩色像素的色彩信息还原第139-147页
     ·基于刺激值拟合的色彩校正第139-145页
     ·提高刺激值拟合方法的输入噪声鲁棒性第145-147页
   ·两层垂直层叠像素获取单色光谱和强度图像第147-151页
   ·本章小结第151-152页
7 总结和展望第152-156页
   ·主要工作总结第152-154页
   ·不足和展望第154-156页
参考文献第156-168页
攻读博士学位期间发表的论文第168页

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