| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-13页 |
| 1 绪论 | 第13-39页 |
| ·微/纳机电系统概述 | 第13-15页 |
| ·纳机电谐振器研究现状 | 第15-25页 |
| ·硅纳米线谐振器的加工技术 | 第15-19页 |
| ·硅纳米线谐振器驱动与检测研究现状 | 第19-21页 |
| ·硅纳米线谐振器中的量子压缩效应研究现状 | 第21-25页 |
| ·硅纳米MOSFET研究现状 | 第25-35页 |
| ·应力对纳米MOSFET特性影响研究现状 | 第25-30页 |
| ·基于SOI的纳米薄膜MOSFET研究现状 | 第30-32页 |
| ·硅纳米线MOSFET特性研究现状 | 第32-33页 |
| ·纳米MOSFET检测传感器研究现状 | 第33-35页 |
| ·本论文的研究动因和工作内容 | 第35-39页 |
| ·研究动因 | 第35页 |
| ·工作内容 | 第35-39页 |
| 2 硅纳米沟道MOSFET的应力等特性研究 | 第39-63页 |
| ·器件设计及仿真 | 第39-42页 |
| ·器件结构设计 | 第39-41页 |
| ·器件应力仿真 | 第41-42页 |
| ·器件制作 | 第42-46页 |
| ·器件加工工艺 | 第42-45页 |
| ·器件加工结果 | 第45-46页 |
| ·硅纳米MOSFET特性研究及分析 | 第46-62页 |
| ·纳米薄膜MOSFET基本输运特性研究 | 第47-49页 |
| ·应力对纳米薄膜MOSFET特性影响的研究 | 第49-59页 |
| ·温度对纳米薄膜MOSFET特性影响研究 | 第59-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 3 基于MEMS TMAH各向异性腐蚀的硅纳米针加工工艺 | 第63-77页 |
| ·基于MEMS TMAH各向异性腐蚀的硅纳米针制作 | 第63-70页 |
| ·TMAH各向异性腐蚀 | 第63-65页 |
| ·硅纳米针加工工艺流程 | 第65-67页 |
| ·硅纳米针加工结果 | 第67-70页 |
| ·硅纳米针的TMAH腐蚀模型及分析 | 第70-75页 |
| ·硅纳米针在TMAH各向异性腐蚀中的形成机理 | 第70-72页 |
| ·硅纳米针腐蚀过程的建模分析 | 第72-75页 |
| ·仿真与实验结果的分析比较 | 第75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 4 纳机电谐振器的量子压缩效应研究 | 第77-103页 |
| ·量子压缩在纳机电谐振器中的应用 | 第77-84页 |
| ·纳机电谐振器振动的量子化 | 第77-80页 |
| ·纳机电谐振器的量子压缩效应 | 第80-82页 |
| ·纳机电谐振器本身热波动研究 | 第82-84页 |
| ·硅纳机电谐振器的量子压缩效应研究 | 第84-87页 |
| ·硅纳机电谐振器的零点位置不确定度 | 第84-86页 |
| ·硅纳机电谐振器的量子压缩效应 | 第86-87页 |
| ·纳米级谐振器的量子压缩效应研究 | 第87-97页 |
| ·石墨烯的基本特性 | 第88页 |
| ·石墨烯纳机电谐振器的零点位置不确定度 | 第88-92页 |
| ·石墨烯纳机电谐振器的量子压缩效应 | 第92-97页 |
| ·量子压缩方法的分析总结 | 第97-101页 |
| ·硅纳米线谐振器 | 第98-100页 |
| ·石墨烯纳机电谐振器 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-103页 |
| 5 总结与展望 | 第103-107页 |
| ·总结 | 第103-104页 |
| ·展望 | 第104-107页 |
| 参考文献 | 第107-121页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第121-122页 |