| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·飞秒激光微加工及其特点 | 第10-11页 |
| ·飞秒激光微加工研究进展 | 第11-24页 |
| ·论文的主要工作 | 第24-25页 |
| 2 飞秒激光脉冲烧蚀硅晶片的特性研究 | 第25-33页 |
| ·实验材料与方法 | 第25-26页 |
| ·飞秒激光烧蚀硅晶片的形貌特征与氧化特性 | 第26-31页 |
| ·微型硅模具制作 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 3 飞秒激光在石英玻璃中制备体光栅的实验研究 | 第33-46页 |
| ·飞秒激光微加工石英玻璃的特性 | 第34-36页 |
| ·数字体光栅的制作方法 | 第36-42页 |
| ·数字体光栅的特性分析 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 4 飞秒激光制作光纤微孔折射率传感器 | 第46-57页 |
| ·实验装置 | 第46-47页 |
| ·飞秒激光对光纤打孔的实验研究 | 第47-48页 |
| ·单模光纤微孔折射率传感器 | 第48-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 5 飞秒激光制作微型光纤在线Mach-Zehnder干涉仪 | 第57-68页 |
| ·飞秒激光切割单模光纤的实验研究 | 第57-58页 |
| ·单模光纤在线Mach-Zehnder干涉仪的实验制备及器件干涉原理 | 第58-60页 |
| ·实验结果及应用 | 第60-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 6 飞秒激光制作微孔结构的长周期光纤光栅 | 第68-83页 |
| ·实验方法 | 第69-71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-81页 |
| ·小结 | 第81-83页 |
| 7 总结与展望 | 第83-85页 |
| ·主要研究内容与结论 | 第83-84页 |
| ·主要特色与创新 | 第84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-98页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第98-100页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请专利目录 | 第100页 |