气体放电单重氧发生器的理论与实验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-22页
·选题背景及意义	第9-11页
·放电单重氧发生器的研究进展	第11-20页
·本论文研究内容和结构安排	第20-22页
2 O_2及混合气体中α型射频放电的理论研究	第22-40页
·氧等离子体的微观过程	第22-23页
·射频放电氧等离子体稳态模型的建立	第23-28页
·射频放电氧等离子体的计算结果与讨论	第28-32页
·平板射频放电的非稳态研究	第32-38页
·本章小结	第38-40页
3 O_2及混合气体中射频放电的电子能量研究	第40-58页
·电子能量的计算	第40-46页
·探针法测量电子能量	第46-51页
·发射光谱法测量电子能量	第51-56页
·本章小结	第56-58页
4 射频放电单重氧发生器的实验研究	第58-77页
·氧等离子体的反应机制	第58-61页
·实验装置及仪器介绍	第61-65页
·实验结果与讨论	第65-75页
·本章小结	第75-77页
5 脉冲放电单重氧发生器的实验研究	第77-96页
·实验装置及仪器介绍	第77-80页
·实验结果与讨论	第80-95页
·本章小结	第95-96页
6 总结与展望	第96-98页
致谢	第98-99页
参考文献	第99-108页
附录1 攻读博士学位期间发表论文目录	第108页