| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-13页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 研究内容与意义 | 第11-12页 |
| 1.3 章节安排 | 第12-13页 |
| 第2章 压电惯性摩擦驱动器的研究现状 | 第13-32页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 压电惯性摩擦驱动器的驱动原理 | 第13-16页 |
| 2.2.1 摩擦驱动原理(FDA: Friction driven actuator) | 第13-14页 |
| 2.2.2 惯性驱动原理(IDA: Inertial driven actuator) | 第14-15页 |
| 2.2.3 两种驱动原理的比较 | 第15-16页 |
| 2.3 压电惯性摩擦驱动器的结构 | 第16-21页 |
| 2.3.1 具有基本结构的压电惯性摩擦驱动器 | 第16-18页 |
| 2.3.2 带调节机构的压电惯性摩擦驱动器 | 第18-20页 |
| 2.3.3 带位移放大机构的压电惯性摩擦驱动器 | 第20页 |
| 2.3.4 具有多个压电驱动器的压电惯性摩擦驱动器 | 第20-21页 |
| 2.4 压电驱动器的非线性 | 第21-22页 |
| 2.4.1 压电驱动器的蠕变效应 | 第21-22页 |
| 2.4.2 压电驱动器的迟滞效应 | 第22页 |
| 2.5 压电驱动器迟滞非线性系统的控制方法 | 第22-30页 |
| 2.5.1 电压前馈控制法 | 第23-24页 |
| 2.5.2 电压反馈控制法 | 第24-27页 |
| 2.5.3 电荷控制法 | 第27-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 压电惯性摩擦驱动器的设计及建模 | 第32-40页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 压电惯性摩擦驱动器的结构设计 | 第32-33页 |
| 3.3 系统建模 | 第33-34页 |
| 3.4 系统参数辨识 | 第34-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 电荷控制电路的设计 | 第40-51页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 基本的电荷控制电路分析 | 第40-41页 |
| 4.2.1 电荷控制电路的原理 | 第40-41页 |
| 4.3 传统电荷控制电路中存在的问题及解决 | 第41-45页 |
| 4.3.1 漏电阻的问题 | 第41-43页 |
| 4.3.2 漏电阻问题的解决方案 | 第43-44页 |
| 4.3.3 压电驱动器浮地的问题与解决 | 第44-45页 |
| 4.4 新型电荷控制电路的设计 | 第45-47页 |
| 4.4.1 运算放大器的选择 | 第46-47页 |
| 4.4.2 电路其他元器件参数的选择 | 第47页 |
| 4.5 电荷反馈电路的效果验证 | 第47-49页 |
| 4.6 电荷控制电路与压电驱动器系统的建模 | 第49-50页 |
| 4.7 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 压电惯性摩擦驱动器的运动控制 | 第51-61页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 压电惯性摩擦驱动器的总体控制方案 | 第51-56页 |
| 5.3 步进阶段控制器(Step mode controller) | 第56-58页 |
| 5.3.1 步进阶段控制器的设计 | 第56-58页 |
| 5.3.2 步进阶段控制器稳定性的分析 | 第58页 |
| 5.4 精密阶段控制器(Fine mode controller) | 第58-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 实验 | 第61-71页 |
| 6.1 引言 | 第61页 |
| 6.2 实验装置 | 第61-65页 |
| 6.2.1 电涡流位移传感器 | 第61-63页 |
| 6.2.2 dSPACE实时控制系统 | 第63-64页 |
| 6.2.3 整体实验平台 | 第64-65页 |
| 6.3 定位运动的实验验证 | 第65-68页 |
| 6.4 轨迹跟踪运动的实验 | 第68-70页 |
| 6.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第7章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 7.1 论文总结 | 第71-72页 |
| 7.2 创新点 | 第72页 |
| 7.3 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 附: 攻读硕士期间发表的论文 | 第78页 |
