| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·纳米概述 | 第10-11页 |
| ·纳米材料的基本特性 | 第11-12页 |
| ·ZnO的材料特性 | 第12-14页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·ZnO的光学性质 | 第13页 |
| ·ZnO的压电特性 | 第13-14页 |
| ·p-n特性 | 第14页 |
| ·ZnO的应用 | 第14-15页 |
| ·太阳能电池 | 第14-15页 |
| ·紫外探测器 | 第15页 |
| ·光催化环境净化 | 第15页 |
| ·发光二极管 | 第15页 |
| ·纳米ZnO的制备方法 | 第15-19页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第16页 |
| ·化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition) | 第16-17页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第17页 |
| ·喷涂热分解法(Spray Pyrolysis) | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第18页 |
| ·电子束反应蒸镀法(Reactive Electron Beam Evaporation) | 第18页 |
| ·磁控溅射法(Magnetron Sputtering) | 第18-19页 |
| ·水热法(Hydrothermal synthesis) | 第19页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第19-21页 |
| 2 ZnO纳米结构的制备与表征 | 第21-33页 |
| ·反应磁控溅射法制备ZnO种子层 | 第21-24页 |
| ·反应磁控溅射的基本原理 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射设备简介 | 第23-24页 |
| ·预沉积种子层的实验条件 | 第24页 |
| ·水溶液法制备ZnO纳米结构 | 第24-25页 |
| ·水溶液法生长的原理 | 第24-25页 |
| ·水溶液法的实验条件 | 第25页 |
| ·ZnO纳米结构的表征方法 | 第25-33页 |
| ·薄膜微观结构的表征 | 第26-27页 |
| ·光学性能表征 | 第27-31页 |
| ·光致荧光光谱 | 第27-29页 |
| ·反射光谱 | 第29-31页 |
| ·表面形貌的表征 | 第31-33页 |
| ·扫描电子显微镜表征 | 第31页 |
| ·原子力显微镜表征 | 第31-33页 |
| 3 水溶液法制备ZnO纳米结构 | 第33-41页 |
| ·实验部分 | 第34-35页 |
| ·实验方案设计及试剂 | 第34页 |
| ·实验方案设计 | 第34页 |
| ·实验试剂及设备 | 第34页 |
| ·纳米氧化锌的制备 | 第34-35页 |
| ·表征和测试 | 第35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-40页 |
| ·纳米ZnO的结构特性 | 第35-36页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能分析 | 第36-38页 |
| ·纳米ZnO的形貌分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 ZnO纳米片薄膜的两步水溶液生长法 | 第41-58页 |
| ·实验部分 | 第42-44页 |
| ·实验方案设计及试剂 | 第42-43页 |
| ·实验方案设计 | 第42页 |
| ·实验试剂及设备 | 第42-43页 |
| ·ZnO种子层的预沉积 | 第43-44页 |
| ·基片处理 | 第43页 |
| ·ZnO种子层的沉积条件 | 第43-44页 |
| ·ZnO薄膜的水溶液生长 | 第44页 |
| ·表征和测试 | 第44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-56页 |
| ·ZnO纳米薄膜生长机理的研究体系 | 第44-50页 |
| ·ZnO薄膜的结构特性 | 第44-45页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能分析 | 第45-47页 |
| ·ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第47-49页 |
| ·ZnO薄膜的形成机制 | 第49-50页 |
| ·种子层对ZnO纳米片薄膜生长行为的影响 | 第50-56页 |
| ·磁控溅射沉积时间对ZnO薄膜发光性能的影响 | 第50-52页 |
| ·磁控溅射沉积时间对ZnO种子层表面形貌的影响 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 5 酸刻蚀的蓝宝石基片上ZnO薄膜生长行为的研究 | 第58-72页 |
| ·实验部分 | 第58-60页 |
| ·实验方案的提出及试剂 | 第58-59页 |
| ·实验方案的提出 | 第58-59页 |
| ·实验试剂及设备 | 第59页 |
| ·实验步骤 | 第59-60页 |
| ·实验结果与讨论 | 第60-71页 |
| ·酸刻蚀处理对蓝宝石基片表面形貌的影响 | 第60-65页 |
| ·不同酸刻蚀处理条件对蓝宝石基片表面粗糙度的影响 | 第65-66页 |
| ·高温氮化处理对蓝宝石基片表面形貌的影响 | 第66-68页 |
| ·水溶液法制备的ZnO薄膜的光学性质分析 | 第68-69页 |
| ·水溶液法在处理制备的ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
