| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 前言 | 第12-23页 |
| 1.1 DNA | 第12-19页 |
| 1.1.1 DNA基础知识 | 第12-13页 |
| 1.1.2 测序技术 | 第13-19页 |
| 1.2 工艺技术 | 第19-21页 |
| 1.2.1 电子束曝光 | 第19-20页 |
| 1.2.2 聚焦离子束 | 第20-21页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第21-22页 |
| 1.4 本文研究的目的与意义 | 第22-23页 |
| 第二章 基于单分子蛋白质的DNA测序芯片的设计方案 | 第23-34页 |
| 2.1 实验设计原理 | 第23-26页 |
| 2.1.1 国内外基于阵列的DNA测序芯片的研究 | 第23-25页 |
| 2.1.2 实验设计原理来源 | 第25-26页 |
| 2.2 芯片的结构与工作原理 | 第26-29页 |
| 2.3 工艺流程设计 | 第29-32页 |
| 2.3.1 基于电子束曝光技术的流程设计 | 第29-30页 |
| 2.3.2 基于聚焦离子束技术的流程设计 | 第30-32页 |
| 2.4 分析测试方法 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 基于电子束曝光系统的实验方案 | 第34-46页 |
| 3.1 实验流程 | 第34-40页 |
| 3.1.1 样品清洗 | 第35-37页 |
| 3.1.2 钛薄膜沉积 | 第37-38页 |
| 3.1.3 电子束曝光 | 第38-39页 |
| 3.1.4 羟基修饰 | 第39页 |
| 3.1.5 生物素分子修饰 | 第39页 |
| 3.1.6 蛋白质分子修饰 | 第39-40页 |
| 3.1.7 DNA附着试验 | 第40页 |
| 3.2 实验结果的讨论与分析 | 第40-45页 |
| 3.2.1 电子束光刻阵列 | 第40-41页 |
| 3.2.2 蛋白质附着测试 | 第41-43页 |
| 3.2.3 DNA附着测试 | 第43-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于聚焦离子束的生物芯片的实验方案 | 第46-55页 |
| 4.1 基于聚焦离子束刻蚀的实验方案 | 第46-49页 |
| 4.1.1 样品清洗 | 第47-48页 |
| 4.1.2 Au膜沉积 | 第48页 |
| 4.1.3 聚焦离子束刻蚀 | 第48-49页 |
| 4.1.4 氨基、生物素分子修饰 | 第49页 |
| 4.1.5 STV-DNA分子连接 | 第49页 |
| 4.2 基于聚焦离子束刻蚀方案的测试分析 | 第49-54页 |
| 4.2.1 纳米坑尺寸分析 | 第49-50页 |
| 4.2.2 单分子研究 | 第50-51页 |
| 4.2.3 聚焦离子束刻蚀阵列 | 第51-53页 |
| 4.2.4 蛋白质附着实验 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 实验结果综合分析 | 第55-57页 |
| 5.1 基于电子束曝光系统的实验方案结果讨论 | 第55-56页 |
| 5.2 基于聚焦离子束系统的实验方案结果讨论 | 第56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 结束语 | 第57-59页 |
| 6.1 主要工作 | 第57-58页 |
| 6.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第64页 |