精密线路板微蚀剂的研发
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题工程背景 | 第9-10页 |
| 1.2 常见多层卬刷线路板的微蚀工艺 | 第10-11页 |
| 1.2.1 浸入式蚀刻工艺流程 | 第10-11页 |
| 1.2.2 喷淋式蚀刻工艺 | 第11页 |
| 1.3 常见微蚀体系的作用机理及研究进展 | 第11-21页 |
| 1.3.1 硫酸/过氧化氢体系 | 第12-14页 |
| 1.3.2 FeCl_3溶液体系 | 第14-16页 |
| 1.3.3 碱性CuCl_2溶液 | 第16-17页 |
| 1.3.4 酸性CuCl_2溶液 | 第17-19页 |
| 1.3.5 过硫酸盐溶液体系 | 第19-20页 |
| 1.3.6 硫酸/铬酸体系 | 第20-21页 |
| 1.4 本研究的意义及内容 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法 | 第23-29页 |
| 2.1 实验试剂、仪器及设备 | 第23页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第23页 |
| 2.1.2 仪器及设备 | 第23页 |
| 2.2 微蚀液的配制 | 第23-24页 |
| 2.3 过氧化氢分解率的测定 | 第24-25页 |
| 2.4 腐蚀试验 | 第25-26页 |
| 2.5 产品的技术指标及测定方法 | 第26-29页 |
| 2.5.1 表观清洁度 | 第26-27页 |
| 2.5.2 腐蚀速率 | 第27页 |
| 2.5.3 表观光亮度 | 第27页 |
| 2.5.4 粗糙度 Ra | 第27-29页 |
| 第三章 微蚀剂主要影响因素的探讨 | 第29-50页 |
| 3.1 温度对微蚀速率的影响 | 第29-30页 |
| 3.2 主配方对微蚀速率的影响 | 第30-33页 |
| 3.2.1 过氧化氢对微蚀速率的影响 | 第31页 |
| 3.2.2 硫酸对微蚀速率的影响 | 第31-33页 |
| 3.3 添加剂的影响 | 第33-48页 |
| 3.3.1 清洗剂的影响 | 第33-36页 |
| 3.3.2 光亮剂的影响 | 第36-38页 |
| 3.3.3 粗糙度调整剂的影响 | 第38-41页 |
| 3.3.4 稳定剂的影响 | 第41-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 蚀刻液的配方研究 | 第50-59页 |
| 4.1 初始配方及其效果 | 第50-54页 |
| 4.2 配方优化 | 第54-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附件 | 第65页 |
