| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第8页 |
| 1.2 机械手运动控制技术国研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 国内外晶圆片传输机械手研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.2 运动控制发展历程 | 第10-11页 |
| 1.3 课题总体方案规划 | 第11-14页 |
| 1.3.1 机械本体方案 | 第11-12页 |
| 1.3.2 控制系统方案 | 第12-14页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 机械结构与算法设计 | 第15-25页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 机械结构设计 | 第15-18页 |
| 2.2.1 机械系统整体设计及概述 | 第15-16页 |
| 2.2.2 Z 轴升降和绕 轴旋转结构设计 | 第16-17页 |
| 2.2.3 机械手水平径向运动和预对准结构 | 第17-18页 |
| 2.3 预对准算法设计 | 第18-22页 |
| 2.3.1 圆心定位算法 | 第18-20页 |
| 2.3.2 切口检测算法设计 | 第20-22页 |
| 2.4 机械手运动学建模 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 控制系统硬件设计 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 运动控制系统原理图设计 | 第25-31页 |
| 3.3 基于 FPGA 的编码器采集系统电路设计 | 第31-34页 |
| 3.3.1 FPGA 简介 | 第31页 |
| 3.3.2 FPGA 电路最小系统 | 第31-32页 |
| 3.3.3 编码器信号采集系统电路设计 | 第32-34页 |
| 3.4 PCB 板设计 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 控制系统软件设计 | 第36-46页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 软件总体规划 | 第36-37页 |
| 4.3 下位机 C 程序设计 | 第37-40页 |
| 4.3.1 功能分析 | 第37页 |
| 4.3.2 硬件系统初始化 | 第37页 |
| 4.3.3 程序流程图 | 第37-40页 |
| 4.4 编码器采集 Verilog HDL 程序设计 | 第40-45页 |
| 4.4.1 功能规划 | 第40-41页 |
| 4.4.2 模块设计和仿真 | 第41-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 机械手误差分析和验证 | 第46-54页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 误差分析 | 第46-50页 |
| 5.2.1 传感器检测误差分析 | 第46-47页 |
| 5.2.2 运动控制误差分析 | 第47-50页 |
| 5.3 机械手联机验证 | 第50-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59页 |